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氮氣對DC-PCVD法制備金剛石薄膜影響的研究

氮氣對DC-PCVD法制備金剛石薄膜影響的研究
氮氣對DC-PCVD法制備金剛石薄膜影響的研究
氮氣對DC-PCVD法制備金剛石薄膜影響的研究

【摘要】采用直流熱陰極等離子體化學氣相沉積方法,用甲烷、氫氣、氮氣的混合氣體在Mo基底上成功制備了金剛石薄膜。分別采用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)、...

日期 2011-08-30   

微波CVD金剛石薄膜用作LED散熱片的制備

微波CVD金剛石薄膜用作LED散熱片的制備
微波CVD金剛石薄膜用作LED散熱片的制備
微波CVD金剛石薄膜用作LED散熱片的制備

摘要由于金剛石具有室溫下最高的熱導率,因此用化學氣相沉積(CVD)制備的金剛石膜是大功率發光二極管理想的散熱材料。本文利用微波等離子體CVD研究了不同沉積工藝下金剛石薄...

日期 2011-07-20   

金剛石薄膜的發展、制備及應用

王麗軍,段新超,張雷,王隆洋,王小平(上海理工大學理學院,上海200093)[摘要]簡要介紹了金剛石薄膜的發展,總結了金剛石薄膜的幾種主要制備工藝并對各種工藝的優、缺點...

日期 2011-07-16   

CVD金剛石薄膜產品

CVD金剛石薄膜產品
CVD金剛石薄膜產品
CVD金剛石薄膜產品

一、CVD金剛石薄膜片及制品1、CVD金剛石薄膜片CVD金剛石即化學氣相沉積金剛石,CVD金剛石不含任何金屬或非金屬添加劑,具有最高的硬度、高耐磨性、易于加工,同時具有...

日期 2011-07-14   

光伏未來將走進薄膜時代

晶體硅和薄膜太陽能光伏電池是現在乃至未來十年的兩大主要技術陣營,晶體硅太陽能電池以高轉化效率在過去和現在都主導著光伏市場。而薄膜電池在原有轉化效率上突破性的進展以及相對...

日期 2010-12-28   

金剛石薄膜片狀溫度電阻器

名稱金剛石薄膜片狀溫度電阻器公開號2261066公開日1997.08.27主分類號H01C7/04

日期 2010-12-24   

金剛石-鉑薄膜型電極

名稱金剛石-鉑薄膜型電極公開號2155019公開日1994.02.02主分類號G01N27/30

日期 2010-12-24   

在藍寶石襯底上異質外延生長碳化硅薄膜的方法

名稱在藍寶石襯底上異質外延生長碳化硅薄膜的方法公開號1369904公開日2002.09.18主分類號H01L21/3

日期 2010-12-24   

單晶碳化硅薄膜的制造方法及制造設備

名稱單晶碳化硅薄膜的制造方法及制造設備公開號1393907公開日2003.01.29主分類號H01L21/08&nb

日期 2010-12-24   

納米金剛石薄膜高頻手術刀

名稱納米金剛石薄膜高頻手術刀公開號2481292公開日2002.03.13主分類號A61B18/12

日期 2010-12-23   

用硅襯底β碳化硅晶體薄膜生長碳化硅單晶體

名稱用硅襯底β碳化硅晶體薄膜生長碳化硅單晶體公開號1224084公開日1999.07.28主分類號C30B

日期 2010-12-23   

沉積類金剛石薄膜的鍍膜機

名稱沉積類金剛石薄膜的鍍膜機公開號2408126公開日2000.11.29主分類號C23C14/24

日期 2010-12-23   

用于軟薄膜的刀刃為鋸齒形的安全刀具

名稱用于軟薄膜的刀刃為鋸齒形的安全刀具公開號1192422公開日1998.09.09主分類號B65H35/06&nb

日期 2010-12-22   

薄膜開孔刀具

名稱薄膜開孔刀具公開號2328488公開日1999.07.14主分類號B26F1/08

日期 2010-12-22   

回旋電子增強熱絲化學氣相沉積制備金剛石薄膜的方法

名稱回旋電子增強熱絲化學氣相沉積制備金剛石薄膜的方法公開號1355330公開日2002.06.26主分類號C23C1

日期 2010-12-21   

光子-熱絲化學氣相沉積生長大面積金剛石薄膜的方法

名稱光子-熱絲化學氣相沉積生長大面積金剛石薄膜的方法公開號1355329公開日2002.06.26主分類號C23C1

日期 2010-12-21   

用于電極的導電金剛石薄膜及其制備方法

名稱用于電極的導電金剛石薄膜及其制備方法公開號1341774公開日2002.03.27主分類號C23C16/27&n

日期 2010-12-16   

納米金剛石薄膜的制備裝置

名稱納米金剛石薄膜的制備裝置公開號1332268公開日2002.01.23主分類號C23C16/27

日期 2010-12-16   

金剛石薄膜冷陰極結構及其制備方法

名稱金剛石薄膜冷陰極結構及其制備方法公開號1274020公開日2000.11.22主分類號C23C16/513&nb

日期 2010-12-15   

制備類金剛石薄膜的裝置

名稱制備類金剛石薄膜的裝置公開號1266107公開日2000.09.13主分類號C23C14/06

日期 2010-12-10   
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