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專利：快速沉積類金剛石薄膜的裝置

申請?zhí)枺?01310074074申請人：北京科技大學摘要：本發(fā)明為一種快速制備類金剛石薄膜的方法及裝備。采用射頻空心陰極效應，將等離

日期 2013-06-08

金剛石 / 薄膜

沉積類金剛石薄膜的鍍膜機

名稱沉積類金剛石薄膜的鍍膜機公開號2408126公開日2000.11.29主分類號C23C14/24

日期 2010-12-23

沉積類金剛石薄膜 / 鍍膜機

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