申請號：201310074074

       申請人：北京科技大學

       摘要：本發明為一種快速制備類金剛石薄膜的方法及裝備。采用射頻空心陰極效應，將等離子體束縛在一個特定的區域，負輝區合并，氣體離化率成倍增加。同時，射頻輝光放電過程中，電子被束縛在電極間，在放電空間來回運動，增加了與氣體分子碰撞的次數，使電離能力顯著提高從而提高等離子體的密度和能量，進而提高薄膜的沉積速率和膜質量，并顯著提高生產效率，降低產品成本，易于實現工業化生產。

       獨立權利要求：1.一種快速沉積類金剛石薄膜的裝置，所述裝置包括真空室、真空系統、電源系統、工件裝卡及旋轉系統、工作氣體及反應氣體的供給及流量控制系統；其特征在于：所述裝置還包括一射頻空心陰極系統，所述系統為平板型，包括上陰極板及下陰極板，所述任一極板一側設有氣路接口，氣體通過該極板供給，基片放在另一極板上；下陰極板安裝在工件裝卡及旋轉系統的旋轉支架上，氣體由真空室通氣口供給；上下陰極板通過三個長度可調螺桿連接，通過調整配套的螺母，調節兩極板板間距，空心陰極系統通過下陰極板連接射頻電源進行供電。