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氮氣對DC-PCVD法制備金剛石薄膜影響的研究

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氮氣對DC-PCVD法制備金剛石薄膜影響的研究
氮氣對DC-PCVD法制備金剛石薄膜影響的研究

【摘要】采用直流熱陰極等離子體化學氣相沉積方法,用甲烷、氫氣、氮氣的混合氣體在Mo基底上成功制備了金剛石薄膜。分別采用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)、...

日期 2011-09-01   

氮氣對DC-PCVD法制備金剛石薄膜影響的研究

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【摘要】采用直流熱陰極等離子體化學氣相沉積方法,用甲烷、氫氣、氮氣的混合氣體在Mo基底上成功制備了金剛石薄膜。分別采用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)、...

日期 2011-08-30   
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