申請號：201710072261.8
       申請人：上海交通大學 上海交友鉆石涂層有限公司
       發明人：孫方宏 申笑天 王新昶 郭松壽 張文驊 郭睿

       摘要： 本發明公開了一種利用化學氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法；該方法針對碳化硅基體，將金剛石磨料混入光刻膠溶液并將其超聲振蕩，利用旋轉甩膠均勻分散金剛石磨粒，實現其在基體襯底均勻分布，采用CVD方法在金剛石磨粒和碳化硅基體之間沉積金剛石涂層結合劑，將磨料與基體牢固的連結起來，同時磨粒生長成為高品級立方八面體單晶顆粒。本發明制備的單層金剛石磨料工具磨粒把持力強，出露高度高，容屑空間大，避免了電鍍和釬焊單層金剛石磨料工具缺點，適用于制備細粒度(5?100μm)單層金剛石磨料工具。本發明制備的單層金剛石磨料工具在半導體、光學晶體、人造藍寶石、玻璃等脆硬材料的高精密磨削加工領域，具有廣闊應用前景。        主權利要求：1.一種利用化學氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：S1、利用甩膠技術將分散有金剛石磨粒的光刻膠溶液分散在磨料工具基體上；S2、在分布有光刻膠和金剛石磨粒的基體表面CVD沉積金剛石涂層作為結合劑固結磨粒和基體；所述磨粒突出基體表面金剛石涂層的部分的高度為磨粒高度的55～80％。