摘要 申請號:201610556619.X申請人:三星鉆石工業股份有限公司發明人:巖坪佑磨曾山浩摘要:本發明提供脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法和基板斷開方法。在脆性材料基板中形成傾斜裂...
申請號:201610556619.X
申請人:三星
鉆石工業股份有限公司
發明人:巖坪佑磨 曾山浩
摘要: 本發明提供
脆性材料基板中
傾斜裂紋的形成方法和基板斷開方法。在脆性材料基板中形成傾斜裂紋的方法包括:槽線形成工序,使具有包含棱線的刀尖的劃線工具在脆性材料基板的一個主面上滑動或者滾動而形成槽線,其中,槽線是線狀的槽部;以及裂紋形成工序,在槽線的正下方產生裂紋,在槽線形成工序中,在使
金剛石刻刀于水平面內從槽線的形成前進方向按規定的傾斜角傾斜的狀態下,以于槽線的正下方維持無裂紋狀態的方式形成槽線,在上述裂紋形成工序中,使作為相對于脆性材料基板的主面傾斜的裂紋的傾斜裂紋從槽線擴展。
主權利要求:1.一種脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,用于在脆性材料基板中形成傾斜裂紋,其特征在于,包括:槽線形成工序,通過使具有包含棱線的刀尖的劃線工具沿著所述脆性材料基板的一個主面的預定的斷開位置滑動或者滾動,從而形成槽線,所述槽線是線狀的槽部;以及裂紋形成工序,使所述槽線的正下方產生裂紋,所述槽線形成工序中,在使所述劃線工具的所述棱線于水平面內從規定方向按規定的傾斜角傾斜的狀態下,以于所述槽線的正下方維持無裂紋狀態的方式形成所述槽線,所述裂紋形成工序中,使傾斜裂紋從所述槽線擴展,所述傾斜裂紋是相對于所述脆性材料基板的主面傾斜的裂紋。
2.根據權利要求1所述的脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,其特征在于,所述傾斜角的絕對值是1.0°~3.0°。
3.根據權利要求1或2所述的脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,其特征在于,所述規定方向是所述槽線的形成前進方向。
4.根據權利要求1或2所述的脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,其特征在于,所述斷開位置被定為曲線狀,所述規定方向是所述斷開位置的切線方向。
5.一種脆性材料基板斷開方法,用于斷開脆性材料基板,其特征在于,包括:傾斜裂紋形成工序,通過權利要求1至4中任一項所述的脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,在所述脆性材料基板中形成傾斜裂紋;以及斷開工序,沿所述傾斜裂紋斷開所述脆性材料基板。
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