它具有硬度高、介電常數(shù)高、摩擦系數(shù)低、高耐磨性、良好的電絕緣性以及良好的化學(xué)惰性、導(dǎo)熱性能和較好的生物相容性而在機械耐磨涂層、微電子機械系統(tǒng)、光學(xué)窗口等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。
　　DLC 薄膜屬于無定形碳,形成的條件不同,結(jié)構(gòu)也不同,但它們共同的特點是在空間結(jié)構(gòu)上是長程無序的. 在特定的條件下,無定形碳中的碳原子可能與另外一至四個碳原子以共價鍵結(jié)合,形成一種復(fù)雜結(jié)構(gòu),這種結(jié)構(gòu)是由共價鍵在空間形成的三維交叉碳原子環(huán)網(wǎng)絡(luò),每個原子還因范德瓦爾斯力與較遠(yuǎn)的原子發(fā)生作用,類金剛石薄膜就是有這種結(jié)構(gòu)的碳結(jié)構(gòu)的薄膜. 膜中的化學(xué)鍵主要是sp3 鍵(金剛石鍵) 和sp2 鍵(石墨鍵) . sp3 鍵的含量越高,膜層就越堅硬致密、電阻率就越高,良好的類金剛石薄膜中的sp3 鍵可達(dá)到85 % 。
　　
　　DLC 膜是由少量sp2鍵和大量sp3鍵組成的非晶碳膜。