【摘 要】綜合地介紹了類金剛石膜研究現(xiàn)狀，著重說明了非晶碳類金剛石薄膜的摩擦學(xué)特性，分析了沉積方法、摻雜元素、摩擦環(huán)境、基體及對(duì)偶材料對(duì)其摩擦學(xué)特性的影響。最后，簡(jiǎn)要說明了非晶碳類金剛石膜應(yīng)用情況。

       【關(guān) 鍵 詞】非晶碳類金剛石；摩擦磨損性能；物理與化學(xué)氣相沉積

Tribo logical Properties and Application of a-C Diamond-like Carbon Films

       Abstract：Based on the research results of the authors，the current research of DLC films was introduced．The remarkable tribological properties of a-C Diamond-like carbon films were presented．The influence of deposition methods，incorporated elements，tribo-environments，substrate and couple materials on tribological properties of the DLC films was discussed in detail．Finally．the application of DLC films was introduced briefly．

       Key words：a-C diamond-like carbon；friction and wear properties；physical and chemical vapor deposition

       類金剛石膜DLC(Diamond-like Carbon)，指碳原子主要以sp2和sp 雜化鍵結(jié)合，性質(zhì)類似于金剛石的非晶碳膜。有關(guān)DLC制備方法、性能、摩擦學(xué)特性的研究及其應(yīng)用受到了人們極大關(guān)注¨引。這主要是因?yàn)镈LC顯示出優(yōu)異的機(jī)械、光學(xué)和摩擦學(xué)性能等，如高硬度、良好的化學(xué)穩(wěn)定性和生物相容性，尤其是超低摩擦因數(shù)和高抗磨性能。

       自上世紀(jì)80年代以來，DLC作為新型保護(hù)材料一直是表面改性領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)之一。我國DLC的研究獲得了一定的進(jìn)展，但與發(fā)達(dá)國家的水平相比，仍有一定的差距。針對(duì)DLC膜獨(dú)特的摩擦學(xué)特性，國內(nèi)外學(xué)者開展了大量的研究和應(yīng)用探索工作，隨著研究的深入，DLC膜已被看作是未來最具潛力的一類摩擦材料。同時(shí)，美國已將DLC膜材料作為國家2l世紀(jì)的戰(zhàn)略材料之一。

       基于此，在已有研究工作的基礎(chǔ)上，筆者綜述了近年來類金剛石膜在摩擦學(xué)領(lǐng)域的研究進(jìn)展和應(yīng)用情況。

       1 類金剛石膜的制備及結(jié)構(gòu)

       不同的類金剛石膜制備方法，可產(chǎn)生結(jié)構(gòu)不同的類金剛石膜，主要分為含氫和不含氫2大類。含氫DLC膜通常采用物理或化學(xué)氣相沉積的方法制備；不含氫的DLC膜通常采用物理氣相沉積的方法制備。沉積DLC膜的方法較多，主要有以下幾類：

       (1)離子束沉積。主要是通過離子束濺射產(chǎn)生碳離子，然后將其加速，沉積在基片上。

       (2)離子束輔助沉積和粒子束增強(qiáng)沉積。輔助沉積主要指用各種方式蒸發(fā)碳，同時(shí)通過荷能離子(惰性氣體離子)的轟擊將動(dòng)量傳遞給碳原子，在基材成膜的過程；增強(qiáng)沉積主要指一方面離子束濺射固體石墨靶，碳原子被濺射出來沉積到基體，同時(shí)，另一離子束轟擊膜層。

       2種方法比較，在離子束輔助沉積過程中，由于動(dòng)量傳遞成膜比離子的直接成膜形成sp 鍵的效率低，因此獲得的DLC膜sp 雜化鍵百分?jǐn)?shù)相對(duì)較低。

       (3)真空弧沉積和磁過濾真空弧沉積。真空沉積主要指利用陰極和陽極間產(chǎn)生的真空電弧放電，激發(fā)高離化率的碳等離子體，碳離子在基體負(fù)電位的作用下加速沉積在基體表面，形成DLC膜；磁過濾真空沉積是電弧沉積裝置中增加一個(gè)磁彎管過濾器以消除等離子體中存在的石墨微粒，得到單一荷電態(tài)的純碳離子束。

       (4)質(zhì)量選擇離子束沉積。是直接離子束沉積的特例，使用氣體離子源(如以CO，CO ，碳?xì)錃怏w作為饋氣)，離子被加速，然后進(jìn)行質(zhì)量分離，純的離子束沉積到基體上形成DLC膜。

       (5)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積。是用輝光放電來分解碳?xì)錃怏w，如苯、甲烷、乙炔等，產(chǎn)生等離子體，再沉積到基體上形成DLC。根據(jù)產(chǎn)生等離子體方法不同，可具體分為直流、射頻和微波等離子體化學(xué)氣相沉積等幾種。

       (6)離子束分解有機(jī)物。是將油加熱蒸發(fā)，經(jīng)噴嘴噴到基體表面冷凝下來，同時(shí)用一定能量的氮離子束轟擊基體，使油分子鍵斷裂，氧和氫等揮發(fā)性成分溢出，碳重新鍵合形成DLC膜。類金剛石薄膜屬于無定形碳，是一種亞穩(wěn)態(tài)的非晶態(tài)材料，由于DLC膜主要由sp 和sp 鍵碳原子雜化構(gòu)成(如圖1所示)，在含氫類金剛石膜中還存在一定數(shù)量的c—H鍵，導(dǎo)致其結(jié)構(gòu)和性能的多樣性。當(dāng)DLC膜內(nèi)sp 鍵所占比例升高，膜層的硬度也隨之提高。對(duì)于不含氫類金剛石膜，當(dāng)sp 鍵所占比例高到一定程度，通常稱該類膜為四面體的無定形Ta—C。由此可見，DLC膜的結(jié)構(gòu)和性能影響關(guān)鍵因素是膜層內(nèi)sp 和sp 鍵碳原子比以及膜層內(nèi)氫含量。這些因素造成DLC膜性能上的巨大差異，特別是作為摩擦學(xué)應(yīng)用的DLC膜，膜層的摩擦學(xué)性能受以上因素影響很大。

       2 類金剛石膜摩擦學(xué)性能

       類金剛石薄膜的摩擦磨損是一個(gè)非常復(fù)雜的過程，其摩擦學(xué)性能受到諸多因素的影響。綜合已有的研究，DLC膜的摩擦學(xué)研究主要集中在制備方法、摻雜元素、摩擦環(huán)境、基體及對(duì)偶材料等對(duì)其性能的影響和機(jī)理研究等幾方面。

       2．1 沉積方法的影響

       不同沉積方法對(duì)DLC膜結(jié)構(gòu)影響很大，導(dǎo)致摩擦學(xué)性能也存在較大差異。如冷永祥等 采用真空弧源沉積的DLC膜，通過調(diào)整氬氣流量控制膜中sp ／sp 比值，獲得的膜層硬度高，抗磨性好，摩擦因數(shù)低。實(shí)驗(yàn)表明，在載荷為100 g，對(duì)偶材料為SiC球，摩擦半徑為6 mm，轉(zhuǎn)速為10 cm／s時(shí)，DLC膜的摩擦因數(shù)為0．04。任妮等 。 用脈沖電弧離子鍍?cè)阪団伜辖鸹咨铣练e無氫類金剛石薄膜，摩擦磨損實(shí)驗(yàn)表明，在干摩擦及潤滑條件下，DLC膜的減摩效果都非常明顯，干摩擦條件下減摩達(dá)到80％以上，潤滑條件下可達(dá)到70％以上。而且具有良好的抗磨損能力，在干摩擦及潤滑條件下體積磨損率都遠(yuǎn)低于NiTi合金，僅為NiTi合金的3％ ～7％ 。朱宏 等利用單源低能離子束輔助沉積法制備了非晶碳膜，研究表明，隨著離子能量和束流的增大，薄膜顯微硬度、摩擦因數(shù)和壽命都增大。這種方法制備的DLC膜含氫量少，sp 雜化鍵較多。柳翠 等采用非平衡磁控濺射的方法制備DLC膜，結(jié)果顯示，增加濺射時(shí)的工作電流有助于sp 鍵的形成，薄膜的摩擦因數(shù)也隨之增大。

       目前，DLC膜制備使用最多的是等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)方法。該方法采用碳?xì)浠衔?如甲烷、乙烷、乙烯、乙炔、苯等)來沉積DLC膜，氣源組成和沉積工藝參數(shù)是影響DLC薄膜摩擦磨損特性的關(guān)鍵因素。Erdemir l 0I“ 等在N 下、l0 N載荷和0．5 m／s的滑動(dòng)速度件下，研究了由甲烷、乙烷及不同比例的氫制備的類金剛石薄膜的摩擦行為，發(fā)現(xiàn)等離子體氣源中H／C的比例越高，薄膜的摩擦因數(shù)越低。由25％CH+75％H (H／C=10)制得的薄膜在干燥環(huán)境下具有極低的摩擦因數(shù)0．003，而100％CH 制備的DLC膜為0．015。筆者 應(yīng)用直流偏壓等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積方法，以苯為氣源沉積DLC膜，研究直流偏壓對(duì)涂層摩擦學(xué)性能的影響。結(jié)果表明，隨著偏壓的增加，涂層硬度和內(nèi)應(yīng)力下降，結(jié)合強(qiáng)度提高，摩擦因數(shù)略有升高，抗磨性能下降。以上試驗(yàn)結(jié)果均表明，DLC膜中的碳結(jié)構(gòu)和氫含量對(duì)其摩擦學(xué)特性起著關(guān)鍵作用。

2．2 摻雜元素的影響

       在DLC膜中摻雜不同元素可改善膜層的機(jī)械和摩擦學(xué)性能。很多學(xué)者通過摻人N，Si，Me金屬元素等 l 來提高膜的結(jié)合強(qiáng)度和摩擦學(xué)性能。例如，添加si可有效降低膜的內(nèi)應(yīng)力和環(huán)境敏感性，但是DLC膜的抗磨性能有所下降。添加Ar 2u也可有效降低膜的內(nèi)應(yīng)力，提高結(jié)合強(qiáng)度。筆者 2 曾系統(tǒng)研究了由c6 H6／N2、C6 H6／ArPECVD沉積的DLC膜在2 N載荷、10 cm／s滑動(dòng)速度、干燥空氣下的摩擦學(xué)性能，由C H 、CH ／N 、C H ／Ar制備的DLC膜硬度逐漸下降，摩擦因數(shù)由0.08降到0．05，磨損率由1O mm ／N．m降低到10 mm ／N．m。特別是Ar摻雜的DLC膜顯示了較好的綜合機(jī)械和摩擦學(xué)性能。Clay等 研究了由CH4／He、CH4／Ar、CH4／N2等離子體沉積的DLC膜在14．7 N載荷、20 mm／s滑動(dòng)速度和空氣中的摩擦學(xué)性能。由CH ／He、CH ／Ar制備的DLC具有相同的結(jié)構(gòu)和優(yōu)良的摩擦性能，而由CH ／N 制備的DLC在結(jié)合力、硬度、應(yīng)力和摩擦性能等方面前都有所下降。Butter等 研究氟摻雜對(duì)DLC膜性能的影響，結(jié)果表明氟元素加入會(huì)導(dǎo)致DLC膜的硬度下降，同時(shí)可以鈍化膜對(duì)氧和水分的吸附，增強(qiáng)抗腐蝕能力，降低摩擦因數(shù)。大連理工大學(xué) 使用金屬離子注入的方法制備了Ti摻雜的DLC膜。結(jié)果表明，Ti摻雜后DLC膜的表面粗糙度明顯減小，DLC膜化學(xué)結(jié)構(gòu)中的sp 組分增加，摻人Ti的DLC膜的硬度從14 GPa增加到20 GPa，摩擦因數(shù)(0．15)明顯低于未摻雜的DLC膜的摩擦因數(shù)(O．21)，Ti離子注入有助于提高薄膜的抗磨損性。

       2．3 摩擦環(huán)境的影響

       總體來講，DLC膜的摩擦學(xué)行為對(duì)環(huán)境氣氛非常敏感，受摩擦環(huán)境的影響顯著。DLC膜在大氣環(huán)境和高濕度環(huán)境下具有較高的摩擦因數(shù)和磨損率，而在真空或惰性氣體條件下具有非常低的摩擦因數(shù)和磨損率，這主要是由于環(huán)境中的氧和水與膜層表面在摩擦過程中發(fā)生摩擦化學(xué)反應(yīng)所致。筆者 17,24l系統(tǒng)研究了DLC膜在大氣環(huán)境、氧氣、氮?dú)?、真空和高濕?95％)大氣環(huán)境下的摩擦磨損行為的變化規(guī)律。部分結(jié)果如圖2，3所示。研究表明，在載荷為2 N，滑動(dòng)速度0．1m／s，對(duì)偶為(6 mm SiC球摩擦條件下，當(dāng)摩擦環(huán)境分別為：真空、高濕度大氣(濕度大于95％)、純氧、干燥大氣(濕度4％)、氮?dú)鈺r(shí)，DLC膜的摩擦因數(shù)分別為0．15，0．15，0．11，0．08，0．04，摩擦因數(shù)逐漸下降；相對(duì)應(yīng)的磨損結(jié)果表明，在純氧和大氣環(huán)境下磨損率較高，一般在1O～～10 mm ／N．m量級(jí)，而在真空和氮?dú)猸h(huán)境下表現(xiàn)出十分優(yōu)異的抗磨性能，磨損率在10 mm ／N．m量級(jí)。uu 2 等人在載荷為2．6 N和滑動(dòng)速度為2Omm／s條件下研究了溫度對(duì)DLC薄膜的摩擦磨損影響，發(fā)現(xiàn)在100。C以下薄膜的摩擦因數(shù)為0．11；在200。C以上薄膜的摩擦因數(shù)為0．05；而在300。C以上時(shí)薄膜的耐磨壽命大大降低，經(jīng)過很短時(shí)間磨合后摩擦因數(shù)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)(摩擦因數(shù)為0．05)，進(jìn)而薄膜很快脫落。Erdemir 2 等人系統(tǒng)地研究了不同環(huán)境氣氛下的摩擦學(xué)性能，在干燥惰性氣體條件下薄膜的摩擦因數(shù)在0．001～ 0．008，而在濕潤的空氣下薄膜的摩擦因數(shù)在0．06～0．2，并且摩擦因數(shù)隨濕度的升高而增大，這表明薄膜表面吸收的水分會(huì)對(duì)含氫類金剛石薄膜產(chǎn)生不利的影響。

       2．4 基體及對(duì)偶材料的影響

       類金剛石薄膜可以在硅、玻璃、陶瓷、金屬、鋼等多種基體材料上沉積。Clay 。 和Erdemir 馴等人研究表明，在玻璃上制備的薄膜摩擦、抗磨損性能較差，在硅、鈦上可形成碳化硅、碳化鈦過渡層，提高與基體的結(jié)合力。DLC膜與鋼鐵基材的結(jié)合強(qiáng)度很差，一般通過添加過渡層或沉積多層結(jié)構(gòu)來解決與金屬基體之間的結(jié)合問題。E卜demir采用PVD／PCVD方法，先用磁濺射方法將硅濺射沉積到基材表面(厚度50—70 nm)，然后再用PCVD方法沉積DLC膜。筆者 叫采用沉積納米多層結(jié)構(gòu)的方法制備了由軟／硬納米壓層交替構(gòu)成的DLC多層膜，結(jié)果顯示，多層膜內(nèi)應(yīng)力顯著下降，結(jié)合強(qiáng)度明顯提高，同時(shí)有保證了多層DLC膜具有較高的硬度，摩擦磨損實(shí)驗(yàn)表明，多層膜摩擦因數(shù)較低，抗磨性能顯著提高，特別是在活性環(huán)境中(0 、大氣)的磨損得到顯著控制，多層膜在活性環(huán)境下的磨損率比相同條件制備的單層DLC膜磨損率低一個(gè)數(shù)量級(jí)，如圖4所示。

       研究表明，對(duì)偶材料對(duì)DLC膜摩擦因數(shù)的影響都很小。如J 等用球盤試驗(yàn)機(jī)，研究了以鋼、氮化硅及DLC涂層為對(duì)偶材料時(shí)，DLC薄膜的摩擦因數(shù)無顯著差異(約為0．05)。然而，對(duì)偶材料對(duì)磨損率的影響較大。如在與上述3種對(duì)偶摩擦條件下，DLC膜的磨損率，分別為6．5 X10一 mm ／N．m、2．5 X 10一。mm ／N． m、5 X 10一mm ／N．m。很多情況下的研究均顯示，在摩擦過程中，DLC膜很容易在對(duì)偶材料上形成一層起潤滑和保護(hù)作用的轉(zhuǎn)移膜，有效降低了摩擦和磨損，同時(shí)造成摩擦因數(shù)變化不大的結(jié)果。

       3 類金剛石膜應(yīng)用

       3．1 機(jī)械方面的應(yīng)用

       由于DLC膜具有高硬度、低摩擦因數(shù)(尤其是在超高真空條件下)以及良好的導(dǎo)熱性，可使機(jī)械零件在沒有冷卻和潤滑的情況下運(yùn)轉(zhuǎn)，因此作為耐磨涂層在摩擦學(xué)領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用前景u 。DLC膜的作為耐磨硬質(zhì)膜在太空中的應(yīng)用研究也已經(jīng)展開，其特別適合于應(yīng)用在高真空等不適于液體潤滑的情況，以及有清潔要求的環(huán)境中。此外，DLC膜可用作刀具涂層，能提高刀具壽命和刀具邊緣的硬度，減少刃磨時(shí)間，節(jié)約成本。用直徑12 mm的DLC涂層的高速鋼立銑刀加工45鋼毛坯時(shí)，銑刀壽命比無涂層時(shí)提高2～ 8倍。用DLC涂層刀具切削共晶鋁硅合金時(shí)不但提高刀具壽命，而且零件表面加工質(zhì)量明顯提高。吉利公司銷售了一種新的刮胡刀“MACH”’，其表面沉積了一層DLC膜，性能超過了傳統(tǒng)的刮胡刀，刀刃更薄，使用更舒適。做為切削刀具涂層，DLC膜能用于銑、鉆、鍛壓鋁(包括加工塑料、銅、銅合金、木材)，切削石墨和碳復(fù)合材料，用于汽車工業(yè)中的精密塞規(guī)的耐磨保護(hù)，用于潮濕環(huán)境和液體處理系統(tǒng)(例如水泵中的運(yùn)動(dòng)零件)。BMV和IWS近來正在研究在發(fā)動(dòng)機(jī)零件上沉積DLC保護(hù)膜(如發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸和活塞)，希望明顯減少油耗和提高部件壽命。

       3．2 光學(xué)和電子保護(hù)

       由于類金剛石膜的抗磨損和化學(xué)穩(wěn)定性，可以作為一些光學(xué)和電子產(chǎn)品的保護(hù)膜，如半導(dǎo)體紅外抗反射膜的保護(hù)膜，噴墨打印機(jī)墨盒加熱層的保護(hù)層、磁存儲(chǔ)器的表面保護(hù)層、錄音機(jī)磁頭極尖的保護(hù)層。DLC膜涂在硬盤上和磁頭上消除了盤與頭之間的啟一停過程中的粘著，減小了磁帶記錄頭和磁帶傳送導(dǎo)桿的摩擦和磨損，防止金屬膜記錄帶的氧化。DLC膜可作為鍺光學(xué)鏡片和硅太陽能電池上作為減反射膜和保護(hù)層，在紅外光學(xué)透鏡上鍍制類金剛石膜可以起到增透和保護(hù)作用，也可鍍?cè)诤教炱骰蚱渌鈱W(xué)儀器上作窗口。在Ge片上沉積DLC用作CO 激光器發(fā)射窗口，透射率和表面硬度明顯提高，使激光器的效率提高了1．8倍。此外，DLC膜還可作為手表玻殼、汽車擋風(fēng)玻璃和后視鏡、眼鏡、手機(jī)顯示屏等的表面保護(hù)層。在普通眼鏡片表面沉積DLC，能有效阻擋紫外線，保護(hù)視力。

       3．3 生物醫(yī)學(xué)保護(hù)

       目前，越來越多的人將目光投向了類金剛石膜在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用，DLC所具有的高度耐磨性和良好的生物相容性大大降低了髖關(guān)節(jié)假體植入術(shù)中無菌松動(dòng)的發(fā)生率 。如：在聚乙烯的人工股骨關(guān)節(jié)頭上鍍一層類金剛石膜，其抗磨損性能可以和鍍陶瓷和金屬的制品相比。在鈦合金、不銹鋼制造的人造假肢、手術(shù)刀以及心臟瓣膜表面沉積一層DLC，可提高耐磨和耐腐蝕性，同時(shí)阻止了金屬離子滲出，生物相容性明顯得到改善。在人造牙根上沉積DLC膜可以改善其生物相容性。

       4 結(jié)論

       DLC作為一種新型功能材料，結(jié)合其獨(dú)特的摩擦學(xué)特性，已經(jīng)初步顯示了它美好的應(yīng)用前景。隨著對(duì)DLC研究的更加廣泛和深入，許多制約其應(yīng)用的關(guān)鍵問題必將逐個(gè)解決和突破，如高溫穩(wěn)定性、涂層內(nèi)應(yīng)力、涂層結(jié)合強(qiáng)度、涂層結(jié)構(gòu)的控制等?？梢灶A(yù)見，在不遠(yuǎn)的將來隨著類金剛石膜的應(yīng)用技術(shù)的逐漸成熟，其必將在光電武器裝備與材料、光學(xué)和電子部件、機(jī)械摩擦運(yùn)動(dòng)部件、人工關(guān)節(jié)和生物醫(yī)學(xué)保護(hù)膜等領(lǐng)域發(fā)揮越來越大的作用。

       參考文獻(xiàn)：

       [1]. s．Aisenberg，Ronald．Chabot．Ion-beam deposition of thin films of diamond-like carbon[J]，Journal of Applied Physics，1971，42(7)：2953-2959．

       [2]. Grill A，Pate1 V，Meyerson B． 0gical behavior of diamondlike carbon：efects of preparation conditions and annealing[J]．Surface and Coatings Technology，1901，49(1-3)：530-539．

       [3]. 李振軍，徐洮，李紅軒，等．類金剛石薄膜的摩擦學(xué)特性及磨損機(jī)制研究進(jìn)展[J]，材料科學(xué)與工程學(xué)報(bào)，2004，22(5)：774-777．

       [4]. 李敬財(cái)，何玉定，胡社軍，等．類金剛石薄膜的應(yīng)用[J]．新材料產(chǎn)業(yè)，2004，124(3)：39-42．

       [5]. 江功武，于翔，王成彪．類金剛石碳膜的研究進(jìn)展[J]．金屬熱處理，2003，28(11)：1-6．

       [6]. 冷永祥，黃楠，孫鴻，等．真空弧源沉積類金剛石薄膜及其性能研究[J]．功能材料，2003，34(2)：229-230．

       [7]. 任妮，馬占吉，高欣．無氫類金剛石碳膜的研究進(jìn)展[J]．真空科學(xué)與技術(shù)，2003，23(3)：176．186．

       [8]. 朱宏，柳襄懷，任琮欣，等．單源低能離子束輔助沉積類金剛石薄膜摩擦性能的研究[J]．摩擦學(xué)學(xué)報(bào)，1995，15(2)：118-125．

       [9]. 柳翠，李國卿，張成武，等．非平衡磁控濺射類金剛石碳膜的性能[J]．材料研究學(xué)報(bào)，2004，18(2)：171．175．

       [10]. Erdemir A，Eryilmaz O．L，Nilufer I．B，et a1．Efect of sourcegas chemistry on tribological performance of diamond--like car--bon films[J]．Diamond and Related Materials，2000，9(3．6)：632-637．

       [11]. Erdemir A，Eryilmaz O．L，F(xiàn)enske G．R．Synthesis of diamond-like carbon films with superlow friction and wear properties[J]．Journal of Vacuum science and Technology，2000，18(4)：1987-1990．

       [12]. Zhang Wei，Tanaka A，Wazumi K，et a1．Structural，mechanical and tribological properties of diamond-like carbon films prepared under different substrate bias boltage[J]．Diamond and Related Materials，2002，1 1(4)：1837—1844．

       [13]. Cheng Y．H，Tay B．K，Lau S．P，et a1．Deposition of carbon nitride films by fihered cathodic vacuum arc combined with ra．dio~equency ion beam source[J]．Diamond Related Mater．，2000，9(12)：2010-2018．

       [14] .H．Dimigen，Klages C．一P．Microstructure and wear behavior of metal—containing diamond-like coatings[J]．Surf．Coat．Techno1．，1991，49(1-3)：543-547．

       [15] .Doffman V．F Diamond-like nanocomposites(DLN)[J]．Thin Solid films，1992，212(1-2)：267-273．

       [16].Zhang Wei，Wazumi K，Tanaka A，et a1．Tribological properties of fd．C：N film produced by d．c．plasma CVD[J]．Jourhal Vacuum Science Technology A，2003，21(1)：6-13．

       [17].Zhang Wei，Tanaka A，Wazumi K，et a1．Tribological properties of the diamond-like carbon films in dry and high moist air [J]．Tribology Letter，2003，14(2)：123-130．

       [18].為中山，左敦穩(wěn)．類金剛石膜的制備及應(yīng)用[J]．航空精密制造技術(shù)，2004，40(1)：20-23．

       [19].賀亞敏，黃培林，呂曉迎．新型生物醫(yī)學(xué)材料一類金剛石膜的研究進(jìn)展[J]．國外醫(yī)學(xué)生物醫(yī)學(xué)工程分冊(cè)，2002，25(2)：73-76．

       [20].Zhang Wei，Tanaka Akihiro．Tribological properties of DLC films deposited under various conditions using a plasma··en··hanced CVD[J]．Special Issue，“Novel Carbons in Tribology”， Tribology Intemational，2004，37(11-12)：975-982．

       [21].Zhang Wei，Tanaka A，Wazumi K，et a1．Mechanical and tribo．1ogical properties of ar incorporated diamond-like carbon films [J]．Thin Solid films，2002，416(1-2)：145—152．

       [22] .Butter R S，Walterman D R，et a1．Production and wetting properties of fluorinated diamond-like carbon coatings[J]．Thin Solid Films，1997，311(1—2)：107．113．

       [23].柳翠，茍偉，牟宗信，等．鈦離子注入類金剛石碳膜的結(jié)構(gòu)與性能的研究[J]．功能材料，2005，36(2)：301．303．

       [24].Zhang Wei，Tanaka A，Wazumi K，et a1．Efect of environment on friction and wear properties of diamond-like carbon film [J]．Thin Solid Films，2002，413(1-2)：104．109．

       [25].uu H，Tanaka A，Umeda K．The tribological characteristics of diamond．1ike carbon films at elevated temperatures『J]．ThinSolid Films，1999，346(1-2)：162-168．

       [26].Erdemir A．The role of hydrogen in tribological properties of diamond．1ike carbon films『J]．Surface and Coatings Techno1．ogy ，2001，146-147：292~97．

       [27].Sa’nchez．Lo’pez J．C，Donnet C，F(xiàn)ontaine J，et a1．Diamond．1ike carbon prepared by high density plasma[J]．Diamond and Related Materials，2000，9(3-6)：638-642．

       [28].Clay K．J，Speakman S．P，Tomozeiu N，et a1．Material properties and tribological perform ance of r．f-PECVD deposited DLC coatings[J]．Diamond and Related Materials，1998，7(8)：1100．1107．

       [29].Erdemir A，Nilufer I．B，Eryilmaz O．L，et a1．Friction and wear perform ance of diamond-like carbon films grown in vari-OUS source gas plasmas [J]．Surface and Coatings Technology，1999，120-121：589-593．

       [30].Zhang W，Tanaka A，Xu B．S，et a1．Study on the diamond-like carbon muhilayer films for tribological application[J]．Diamond and Related Materials，2005，14(8)：1361．1367．

       [31].Jia K，Li Y．Q，F(xiàn)ischerT．E，et a1．Tribology of diamond-like carbon sliding against itself，silicon nitride，and steel[J]．Journal of Materials Research，1995，10(6)：1403-1410．