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一種低溫鍍復金剛石薄膜的方法及設備

關鍵詞低溫 , 復金剛石薄膜|2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱一種低溫鍍復金剛石薄膜的方法及設備公開號1138635公開日1996.12.25主分類號C23C16/26&nb

名稱	一種低溫鍍復金剛石薄膜的方法及設備
公開號	1138635	公開日	1996.12.25
主分類號	C23C16/26	分類號	C23C16/26
申請號	95111077.2
分案原申請號		申請日	1995.06.16
頒證日		優先權
申請人	南京大學; 南京大學天地金鋼石鍍膜技術開發中心	地址	210093江蘇省南京市漢口路22號
發明人	王志超	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	南京大學專利事務所	代理人	黃嘉棟
摘要	一種鍍復金剛石薄膜的方法和設備，它是應用高頻等離子體化學汽相沉積法以一氧化碳和氮氣為氣源，在襯底表面鍍覆金剛石薄膜。用本發明的方法可以在室溫至５００℃溫度下鍍覆金剛石薄膜，因而在塑料、鋼、鐵等襯底表面都能鍍覆金剛石薄膜。本發明的鍍覆設備價廉易行，可適用于不同大小和形狀的工件。

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