名稱 | 氣相合成金剛石的方法 | ||
公開號 | 1113965 | 公開日 | 1995.12.27 |
主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26 |
申請號 | 94110656.X | ||
分案原申請號 | 申請日 | 1994.06.06 | |
頒證日 | 優先權 | ||
申請人 | 山東礦業學院 | 地址 | 271019山東省泰安市岱宗大街48號 |
發明人 | 李惠琪; 李惠東; 霍萬庫; 吳玉萍; 張桂玲 | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構 | 山東省高等院校專利事務所 | 代理人 | 戚愛華 |
摘要 | 本發明是一種在直流等離子體噴射CVD設備中利用專利號為93109966.8的大噴口直徑等離子炬以廉價的液化石油氣作為碳源氣相合成金剛石的方法。使用本發明在氬、氫等離子弧中直接吹入液化石油氣,可以以每小時30—50微米的速度,生長出質量純凈的金剛石膜。 |