申請?zhí)枺?01620213665.5
　　申請人：浙江晶盛機電股份有限公司
　　發(fā)明人：傅林堅 何守龍 曹建偉 沈文杰 朱亮 盧嘉彬 邱文杰 沈加富 邱敏秀

　　摘要：本實用新型涉及單晶硅棒加工專用切割設(shè)備，旨在提供一種金剛線單晶硅棒切方設(shè)備。該種金剛線單晶硅棒切方設(shè)備包括大底架、龍門架、排線安裝架、張力電機安裝架、張力電機、張力臂、工作臺頭座、工作臺尾座、排線部件、收放線部件、線偏檢測部件、進刀單元、過渡導(dǎo)輪、張力導(dǎo)輪，工作臺頭座和工作臺尾座之間用于夾持晶棒，且能夠控制晶棒沿工作臺頭座和工作臺尾座的軸線旋轉(zhuǎn)。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊，布局合理；本實用新型采用金剛石線鋸切割，切割刀痕小，切割面質(zhì)量高，大大減少了原材料的損耗；本實用新型大大改善了工作環(huán)境，實現(xiàn)了環(huán)保生產(chǎn)。 　　主權(quán)利要求：1.一種金剛線單晶硅棒切方設(shè)備，包括大底架、龍門架、排線安裝架、張力電機安裝架、張力電機、張力臂、工作臺頭座、工作臺尾座、排線部件、收放線部件、線偏檢測部件、進刀單元、過渡導(dǎo)輪、張力導(dǎo)輪，其特征在于，所述龍門架設(shè)有兩個，分別為左龍門架和右龍門架；所述排線安裝架設(shè)有兩個，分別為左排線安裝架和右排線安裝架；所述張力電機安裝架設(shè)有兩個，分別為左張力電機安裝架和右張力電機安裝架；所述張力電機設(shè)有兩個，分別為左張力電機和右張力電機；所述張力臂設(shè)有兩個，分別為左張力臂和右張力臂；所述過渡導(dǎo)輪設(shè)有五個，分別為第一過渡導(dǎo)輪、第二過渡導(dǎo)輪、第三過渡導(dǎo)輪、第四過渡導(dǎo)輪和第五過渡導(dǎo)輪；所述張力導(dǎo)輪設(shè)有兩個，分別為左張力導(dǎo)輪和右張力導(dǎo)輪；所述進刀單元設(shè)有四個，分別為第一進刀單元、第二進刀單元、第三進刀單元和第四進刀單元；所述排線部件設(shè)有兩個，分別為左排線部件和右排線部件，排線部件用于將金剛石線均勻排布在收放線部件上；所述收放線部件設(shè)有兩個，分別為左收放線部件和右收放線部件，收放線部件用于實現(xiàn)金剛石線的往復(fù)運動；所述線偏檢測部件設(shè)有兩個，分別為左線偏檢測部件和右線偏檢測部件，線偏檢測部件用于檢測收放線部件上的金剛石線是否均勻分布；所述左排線安裝架安裝在大底架的左側(cè)，左排線部件安裝在左排線安裝架的上方；所述左收放線部件安裝在左排線部件的上方；所述左龍門架安裝在大底架的左上方，左張力電機安裝架安裝在左龍門架的上方，左線偏檢測部件安裝在左龍門架的外側(cè)，第一進刀單元和第四進刀單元安裝在左龍門架的內(nèi)側(cè)；所述左張力電機安裝架上安裝有第一過渡導(dǎo)輪、第二過渡導(dǎo)輪、左張力電機、左張力臂，所述左張力導(dǎo)輪安裝在左張力臂上；所述右排線安裝架安裝在大底架的右側(cè)，右排線部件安裝在右排線安裝架的上方；所述右收放線部件安裝在右排線部件的上方；所述右龍門架安裝在大底架的右上方，右張力電機安裝架安裝在右龍門架的上方，右線偏檢測部件安裝在右龍門架的外側(cè)，第二進刀單元和第三進刀單元安裝在右龍門架的內(nèi)側(cè)；所述右張力電機安裝架上安裝有第三過渡導(dǎo)輪、第四過渡導(dǎo)輪、右張力電機、右張力臂，所述右張力導(dǎo)輪安裝在右張力臂上；所述第五過渡導(dǎo)輪安裝在左龍門架和右龍門架之間；所述工作臺頭座和工作臺尾座安裝在大底架的正上方，工作臺頭座和工作臺尾座之間用于夾持晶棒，且能夠控制晶棒沿工作臺頭座和工作臺尾座的軸線旋轉(zhuǎn)。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第一進刀單元上安裝有第一進刀導(dǎo)輪，第一進刀單元能夠獨立控制第一進刀導(dǎo)輪在豎直方 向上的進刀速度和進刀深度。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第二進刀單元上安裝有第二進刀導(dǎo)輪，第二進刀單元能夠獨立控制第二進刀導(dǎo)輪在豎直方 向上的進刀速度和進刀深度。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第三進刀單元上安裝有第三進刀導(dǎo)輪，第三進刀單元能夠獨立控制第三進刀導(dǎo)輪在豎直方 向上的進刀速度和進刀深度。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第四進刀單元上安裝有第四進刀導(dǎo)輪，第四進刀單元能夠獨立控制第四進刀導(dǎo)輪在豎直方 向上的進刀速度和進刀深度。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項所述的一種金剛線單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第五過渡導(dǎo)輪上設(shè)有測速裝置，能夠?qū)饎偸€的線速度進行實時檢測獲取。