申請號：201310538875

　　申請人：昆山宏凌電子有限公司

　　摘要：一種LED行業用超精細清洗拋光液：10-15%椰子油酰二乙醇胺；金剛石顆粒，且所述金剛石顆粒為50~60nm；Fe<20ppm，且Zn<0.01ppm；且所述拋光液的密度為1.2kg/m3，pH值為11~12，固體含量30%，其能夠拋光LED的襯底，且拋光效率高。

　　獨立權利要求：1.一種LED行業用超精細清洗拋光液，其含有：10-15%椰子油酰二乙醇胺；金剛石顆粒，且所述金剛石顆粒為50~60nm；Fe<20ppm，且Zn<0.01ppm；且所述拋光液的密度為1.2kg/m3，pH值為11~12，固體含量30%。

　　2.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述金剛石顆粒為聚多晶納米金剛石顆粒。

　　3.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：通過NaOH調整所述拋光液的pH值為11。

　　4.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述拋光液被用于拋光LED的藍寶石襯底。

　　5.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述拋光液中還具有1%的緩蝕劑。