手機資訊
官方微信摘要 名稱碳化硅纖維高頻熱反應裝置公開號1071398公開日1993.04.28主分類號C03B37/09
| 名稱 | 碳化硅纖維高頻熱反應裝置 | ||
| 公開號 | 1071398 | 公開日 | 1993.04.28 |
| 主分類號 | C03B37/09 | 分類號 | C03B37/09 |
| 申請號 | 91109267.6 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 1991.10.05 | |
| 頒證日 | 優先權 | ||
| 申請人 | 石家莊市電子加工技術研究所 | 地址 | 050091河北省石家莊市紅旗大街81號 |
| 發明人 | 陳新謀; 王敬霞 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 河北省專利事務所 | 代理人 | 王苑祥 |
| 摘要 | 本發明涉及到一種利用氣相沉積法制造碳化硅纖維的專用裝置。本發明利用高頻無接觸式加熱系統取代了傳統的直流加熱系統，裝置中包括收、放絲機構，可導入反應氣體的石英熱反應器和高頻加熱系統三部分組成。高頻加熱系統中由射頻發生器產生高能量射頻電波，通過同軸傳輸電纜直聯至同軸型反相激勵式對稱耦合腔，套裝在石英熱反應器上，在射頻電流激勵下，在耦合腔之間形成軸向勻強電磁場實現對載體絲加熱，并完成反應氣體分解并以ＳｉＣ形式沉積的過程。 | ||
豫公網安備41019702003646號