根據天眼查APP數據顯示晶盛機電(300316)新獲得一項發明專利授權,專利名為“金剛石長晶裝置”,專利申請號為CN202510130622.4,授權日為2025年4月8日。
專利摘要:本發明提供了一種金剛石長晶裝置,屬于金剛石生長技術領域,解決了現有技術金剛石生長質量欠佳的問題。本發明包括第一腔體,第一腔體下方設有生長區,所述生長區用于生長金剛石;天線,所述天線設置于第一腔體內且位于生長區上方,天線用于激發反應氣體形成等離子體;以及調節組件,所述調節組件包括調節環和驅動件,所述調節環活動設置于天線上方,調節環用于約束等離子體的形態,所述驅動件作用于調節環,以使調節環至少具有水平方向的活動自由度。本申請通過額外配置調節組件,利用調節環約束等離子體的形態,然后通過驅動件調節調節環的水平位置,從而間接調節等離子體的水平位置,如此實現等離子體的位置糾偏,進而提高金剛石的長晶質量。
今年以來晶盛機電新獲得專利授權43個,較去年同期減少了18.87%。結合公司2024年中報財務數據,2024上半年公司在研發方面投入了6.11億元,同比增1.92%。