| 名稱 | 一種化學氣相沉積碳化硅纖維的反應器 | ||
| 公開號 | 2283068 | 公開日 | 1998.06.03 |
| 主分類號 | C23C16/30 | 分類號 | C23C16/30 |
| 申請號 | 96239186.7 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 1996.11.25 | |
| 頒證日 | 1998.04.23 | 優先權 | |
| 申請人 | 中國科學院金屬研究所 | 地址 | 110015遼寧省沈陽市沈河區文化路72號 |
| 發明人 | 石南林 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 中國科學院沈陽專利事務所 | 代理人 | 張晨 |
| 摘要 | 一種化學氣相沉積碳化硅纖維的反應器，由上下封頭和反應室三部分組成，其特征在于：在上下 封頭中分別增設２～６孔的多孔毛細管，相互同心呈直線關系，并與反應室軸線呈對稱分布。本實用新型可在原有的化學氣相沉積反應條件不變情況下，同時沉積兩 根以上碳化硅纖維，從而大大提高生產效率。 | ||
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