摘要 據(jù)報道,中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所謝曉明研究員團(tuán)隊“十年磨一劍”,在高品質(zhì)石墨烯電子材料制備方面取得多項突破。該團(tuán)隊與上海市石墨烯產(chǎn)業(yè)技術(shù)功能型平臺合作,通過建設(shè)創(chuàng)新實驗室,...
據(jù)報道,中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所謝曉明研究員團(tuán)隊“十年磨一劍”,在高品質(zhì)石墨烯電子材料制備方面取得多項突破。該團(tuán)隊與上海市石墨烯產(chǎn)業(yè)技術(shù)功能型平臺合作,通過建設(shè)創(chuàng)新實驗室,實現(xiàn)8英寸石墨烯單晶晶圓、4英寸鍺基石墨烯晶圓、大面積六方氮化硼介質(zhì)薄膜的中試生產(chǎn)。該研究項目近日獲得上海市自然科學(xué)獎一等獎。
石墨烯是一種新型碳材料,與硅基材料相比,優(yōu)勢明顯:一是單層石墨烯的厚度僅為0.27納米,在半導(dǎo)體工藝制程方面,遵循摩爾定律的發(fā)展?jié)摿Ρ裙杌牧洗蟮枚啵欢鞘┑木w結(jié)構(gòu)讓自由電子遷移不受束縛,電子運行速度達(dá)到1/300光速,比硅芯片快100—1000倍;三是用石墨烯制造的處理器頻率有望達(dá)到1太赫茲以上,比硅芯片高100—1000倍;四是石墨烯可以制成柔性薄膜,讓電子產(chǎn)品能彎曲、更便攜。為了讓這類材料盡快產(chǎn)業(yè)化,中科院上海微系統(tǒng)所謝曉明團(tuán)隊還與國內(nèi)、國際多家單位合作,實現(xiàn)了石墨烯在微電子、能源、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用。
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