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官方微信摘要 PVD與CVD涂層工藝比較沉積溫度涂層厚度涂層表面狀態(tài)主要涂層材料涂層結(jié)合強(qiáng)度對(duì)環(huán)境影響主要應(yīng)用領(lǐng)域
| PVD與CVD涂層工藝比較 | ||||||||
| 沉積溫度 | 涂層厚度 |
涂層表面 狀態(tài) |
主要涂層 材料 |
涂層 結(jié)合強(qiáng)度 |
對(duì)環(huán)境 影響 |
主要應(yīng)用領(lǐng)域 | ||
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物 理 氣 相 沉 積 |
500℃或更低， 沉積溫度低 刀具變型不， 基體的 硬度 強(qiáng)度不降低。 |
2～5μm, 涂層較薄 ，刃口鋒 利。 |
涂層為壓應(yīng)力，有利于抑制裂縫的擴(kuò)展；刃口可不作鈍處理；表面致密，粗糙度低。 |
TiN TiCN TiA1N A12o3 A1CrN MoS2 WC/C 等。 |
低 | 無(wú)污染 |
1.高速鋼通用刀具：鉆頭、絲錐、立銑刀。 2.高速鋼精密復(fù)雜刀具：拉刀、齒輪刀具。 3.整體硬質(zhì)合金刀具。 4.可轉(zhuǎn)位螺紋刀片、切斷、切槽刀片。 |
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物 理 氣 相 沉 積 |
1000℃， 沉積溫度 高，基體 的 硬度、 強(qiáng)度降低 ，需開發(fā) 專門的基 體用于涂層。 |
5～20μm 或更厚， 適合于開 發(fā)多層厚 膜涂層， 高耐磨性。 |
涂層為拉應(yīng)力，易生成裂縫；刃口必須作鈍化處理；表面較粗糙。 |
TiN TiC TiCN A12o3 ZrO2 金剛石等。 |
高 |
排出的廢氣對(duì)環(huán)境 有污染。 |
1.硬質(zhì)合金可轉(zhuǎn)為刀片：車刀片、銑刀片等。 2.金剛石涂層。 |
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