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金剛石復合涂層拉絲模制備方法

關鍵詞金剛石 , 復合涂層 , 拉絲模|2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱金剛石復合涂層拉絲模制備方法公開號1327084公開日2001.12.19主分類號C23C16/27

名稱	金剛石復合涂層拉絲模制備方法
公開號	1327084	公開日	2001.12.19
主分類號	C23C16/27	分類號	C23C16/27;B21C3/02
申請號	01113027.X
分案原申請號		申請日	2001.05.31
頒證日		優先權
申請人	上海交通大學	地址	200030上海市華山路1954號
發明人	沈荷生;張志明;郭松壽	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	上海交通大學專利事務所	代理人	毛翠瑩
摘要	一種金剛石復合涂層拉絲模制備方法，以大孔徑硬質合金拉絲模為襯底，經稀鹽酸滴加雙氧水腐蝕，清洗后用穿孔熱絲CVD法首先沉積一層常規金剛石薄膜，然后降低反應氣體壓力，增加碳源體積濃度，并添加Ar氣，原位繼續沉積一層納米金剛石膜組成復合涂層。本發明的復合涂層既具有常規涂層耐磨，附著力強的優點，又兼有納米金剛石涂層表面光滑，摩擦系數小，易研磨拋光等特點，適用于各種金屬材料的拉絲。

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