| 名稱 | 一種熱絲法生長金剛石的方法 | ||
| 公開號 | 1123847 | 公開日 | 1996.06.05 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26;C30B25/00 |
| 申請號 | 94118524.9 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 1994.11.29 | |
| 頒證日 | 優先權 | ||
| 申請人 | 中國科學院物理研究所 | 地址 | 100080北京市603信箱 |
| 發明人 | 陳巖; 林彰達 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 中國科學院專利事務所 | 代理人 | 高存秀 |
| 摘要 | 本發明屬于化學汽相沉積技術，特別是涉及采用熱絲法汽相沉積大面積金剛石膜的方法。本發明為了有效地利用真空室，節省電耗及氣體有效的生長大面積金剛石膜，從而提供一種由一根或多根Ｗ鎢絲豎直懸掛在反應室頂，待沉積基材相對于Ｗ絲豎直懸掛在Ｗ鎢絲周圍的排列方式，通入反應介質，汽相沉積生長金剛石膜的方法。該方法可把沉積效率提高１—４倍減少電耗和反應介質，降低反應成本。 | ||
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