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金剛石紅外增透保護薄膜及制備工藝

關鍵詞 金剛石 , 紅外增透 , 保護薄膜 , 制備工藝 |2010-12-09 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱金剛石紅外增透保護薄膜及制備工藝公開號1094455公開日1994.11.02主分類號C23C16/26&nbs

 

名稱 金剛石紅外增透保護薄膜及制備工藝 
公開號 1094455  公開日 1994.11.02   
主分類號 C23C16/26  分類號 C23C16/26 
申請號 93112643.6   
分案原申請號   申請日 1993.12.30   
頒證日   優先權  
申請人 復旦大學    地址 200433上海市邯鄲路220號  
發明人 沈元華; 應萱同    國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構 復旦大學專利事務所    代理人 陸飛   
摘要   用人工化學氣相沉積技術制備的金剛石多晶薄膜可以作為紅外增 透保護膜,其硬度為6000~10000kg/mm#+[2],不怕酸、堿腐蝕,大氣中耐溫500℃以上,可在惡劣環境條件下使用。該膜采用基板超聲預處理,在優化工藝條件下人工化學氣相沉積等技術措施制備。本發明可廣泛應用于冶金、化工、航天航空、軍事等工業和科研領域,如工業生產線上的紅外在線探測、戰地及野外環境中的紅外夜視儀等。可提高儀器的靈敏度、頻率選擇性及穩定性等,并能大幅度地延長儀器的使用壽命。   
 

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