名稱 | 金剛石紅外增透保護薄膜及制備工藝 | ||
公開號 | 1094455 | 公開日 | 1994.11.02 |
主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26 |
申請號 | 93112643.6 | ||
分案原申請號 | 申請日 | 1993.12.30 | |
頒證日 | 優先權 | ||
申請人 | 復旦大學 | 地址 | 200433上海市邯鄲路220號 |
發明人 | 沈元華; 應萱同 | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構 | 復旦大學專利事務所 | 代理人 | 陸飛 |
摘要 | 用人工化學氣相沉積技術制備的金剛石多晶薄膜可以作為紅外增 透保護膜,其硬度為6000~10000kg/mm#+[2],不怕酸、堿腐蝕,大氣中耐溫500℃以上,可在惡劣環境條件下使用。該膜采用基板超聲預處理,在優化工藝條件下人工化學氣相沉積等技術措施制備。本發明可廣泛應用于冶金、化工、航天航空、軍事等工業和科研領域,如工業生產線上的紅外在線探測、戰地及野外環境中的紅外夜視儀等。可提高儀器的靈敏度、頻率選擇性及穩定性等,并能大幅度地延長儀器的使用壽命。 |