移相器對于光學設備的尺寸設計起著重要的作用。目前,用于半導體設備的移相器主要是硅/鍺基材料。這種材料的優勢是制備技術成熟且成本低。但是,由于材料易腐蝕,使用壽命短且透明度低,無法在中紅外波段使用。因此,硅/鍺基移相器很難應用于極端環境。與硅/鍺基材料相比,金剛石具有良好的熱穩定性和光學性能,以及較高的硬度和透明度,可應用于極端環境下的光學設備。
浙江工業大學胡曉君教授團隊通過有限元分析設計和優化了中紅外(7.7-13.7 μm)金剛石基移相器。設計并摻雜脊形金剛石波導,形成內部p-n結構,并通過施加正向和反向電壓改變內部載流子分布,以改變有效折射率,從而實現π相位移的效果。結果表明,當p摻雜濃度為4×10^(17) cm^(-3),n摻雜濃度為1×10^(18) cm^(-3),施加反向電壓(8 V)時,有效折射率的實部變化(ΔR)為1.6×10^(-5),實現π相位移所需的移相器的長度(L)為241 mm。當施加正向電壓(-8 V)時,ΔR增加到3.2×10^(-4),所需的移相器長度縮短到12.03 mm。這樣短的長度在工業生產中相對容易。為了使折射率分布更均勻,已將載流子濃度分別優化為p型為1×10^(17) cm^(-3)和n型為4×10^(17) cm^(-3)。
相關的成果以“Design and optimization of diamond mid-infrared phase shifter”為題,發表在Functional Diamond 雜志上。
Design and optimization of diamond mid-infrared phase shifter
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通信作者Corresponding Author
胡曉君博士,浙江工業大學材料科學與工程學院副院長。長期在金剛石薄膜等低維超硬功能材料、納米碳材料和計算材料學等方面開展工作,探索金剛石薄膜等材料的摻雜新方法及光電性能,致力于獲得新穎的光電器件。主持科研項目13項,其中國家自然科學基金聯合重點項目1項、國家國際科技合作項目1項、國家重點研發計劃項目(第二單位負責人)1項、國家自然科學基金3項、浙江省重點研發計劃1項。在ACS Appl. Mater. Interfaces,APL, Carbon, JMCC, JAP, ASS等國內外期刊發表論文80余篇;以第一發明人授權發明專利24項,受理發明專利11項,其中國際專利1項。入選浙江省高校創新領軍人才;作為大會主席主辦金剛石薄膜及其功能器件國際研討會5次,發起首屆海峽兩岸金剛石薄膜及其功能器件研討會;擔任2016年新金剛石及納米碳材料國際會議組委會成員;擔任《Functional Diamond》、《金剛石與磨料磨具工程)和《超硬材料工程》等期刊的編委;擔任浙江省青年科技工作者協會副會長、浙江省女科技工作者協會理事和浙江省材料研究學會理事;入選中國電子學會青年女科學家俱樂部會員;擔任河南省功能金剛石創新中心技術專家委員會委員;近年來擔任國際國內會議分會主席12次、做邀請報告12次、口頭報告27次。擔任Advanced Materials, Diamond & Related Materials, ACS: Applied Materials and Interfaces, Carbon, Journal of Crystal Growth等國際期刊審稿人。
團隊由教授、副教授、講師、博士研究生、碩士研究生等二十多人組成,圍繞金剛石薄膜及其功能應用,從理論設計和實驗兩個方面開展研究,涉及金剛石及納米碳材料材料的設計、制備、表征、性能和應用。近5年來獲得國家自然科學基金聯合重點項目、國家國際科技合作項目、國家重點研發計劃項目、國家自然科學基金及浙江省重點研發計劃等項目資助;團隊建成浙江-俄羅斯金剛石薄膜及其功能器件聯合研究中心,獲批建設量子信息與智能材料浙江省國際科技合作基地。