申請號: 201720764560.3

申請日: 2017.06.28

申請人: 南京威途真空技術有限公司

發明人: 楊立秋; 徐松林

       摘要： 

       本實用新型公開了一種金剛石真空釬焊爐抽氣系統，包括機械泵、第一羅茨泵、第二羅茨泵、擴散泵、粗真空閥門、第一真空閥門和第二真空閥門；機械泵的進氣口與第一羅茨泵的出氣口連通，第一羅茨泵的進氣口與第二羅茨泵的出氣口連通，第二羅茨泵的進氣口通過三通管分成兩路：一路連接第一真空閥門的出氣口，第一真空閥門的進氣口與擴散泵的側出氣口連通，擴散泵的進氣口與粗真空閥門的下出氣口連通；另一路與第二真空閥門的出氣口相通，第二真空閥門的進氣口與粗真空閥門的側出氣口連通。本實用新型的有益效果是：本實用新型處理后的金剛石真空釬焊爐爐體內的真空度高，并且本實用新型的結構簡單，占地面積小，占用的空間小。

       主權利要求:

       一種金剛石真空釬焊爐抽氣系統，其特征在于：包括機械泵（1）、第一羅茨泵（2）、第二羅茨泵（3）、擴散泵（4）、粗真空閥門（5）、第一真空閥門（6）和第二真空閥門（7）；所述的機械泵（1）的進氣口通過管路與第一羅茨泵（2）的出氣口連通，第一羅茨泵（2）的進氣口通過管路與第二羅茨泵（3）的出氣口連通，第二羅茨泵（3）的進氣口通過三通管（8）分成兩路：一路通過管路連接第一真空閥門（6）的出氣口，第一真空閥門（6）的進氣口通過管路與擴散泵（4）的側出氣口連通，擴散泵（4）的進氣口與粗真空閥門（5）的下出氣口連通；另一路與第二真空閥門（7）的出氣口相通，第二真空閥門（7）的進氣口通過管路與粗真空閥門（5）的側出氣口連通，所述的粗真空抽氣閥門的進氣口用于與金剛石真空釬焊爐的爐體連通。