手機資訊
官方微信摘要 申請號：201410032014申請人：中國有色桂林礦產地質研究院有限公司摘要：本發明公開了一種多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，包括切割多晶硅錠的金剛石線鋸，所述金剛石線鋸包括環形金剛...
申請號：201410032014
申請人：中國有色桂林礦產地質研究院有限公司
摘要：本發明公開了一種多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，包括切割多晶硅錠的金剛石線鋸，所述金剛石線鋸包括環形金剛石鋸絲，至少兩條以上環形金剛石鋸絲分別由各自對應設置的導輪組張緊運轉而形成X向相互平行的一組切割面，至少兩條環形金剛石鋸絲分別由各自對應設置的導輪組張緊而形成Y向相互平行的另一組切割面，兩組切割面上的X向金剛石鋸絲線族和Y向金剛石鋸絲線族交叉形成方格形切割網。本發明采用多條環形金剛石鋸絲排列成縱橫的網狀線切割多晶硅錠，有效利用環形金剛石鋸絲單方向、無慣性力、高速運動的特性，可使加工效率相比往復式金剛石線鋸裝置提高3倍～5倍。
獨立權利要求：
1.多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，包括切割多晶硅錠（3）的金剛石線鋸機構，其特征在于：所述金剛石線鋸機構包括環形金剛石鋸絲（1），至少兩條以上環形金剛石鋸絲（1）分別由各自對應設置的導輪組張緊運轉而形成X向相互平行的一組切割面，至少兩條以上環形金剛石鋸絲（1）分別由各自對應設置的導輪組張緊而形成Y向相互平行的另一組切割面，兩組切割面上的X向金剛石鋸絲（1）線族和Y向金剛石鋸絲（1）線族交叉形成方格形切割網。3.根據權利要求2所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：兩個平面的間距為5mm～20mm。
4.根據權利要求1～3中任意一項所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述導輪組包括兩個以上導輪（2）。
5.根據權利要求4所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：兩個以上導輪（2）中包括一個主動輪。
6.根據權利要求5所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：同組切割面各導輪組中的主動輪位置相對應，且同軸固連于傳動軸上。
7.根據權利要求1～3中任意一項所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述X向金剛石鋸絲（1）線族的線間距相等，Y向金剛石鋸絲（1）線族的線間距相等。
豫公網安備41019702003646號