申請（專利）號：201010141333.8

       申請人：大連理工大學

       技術簡要說明：一種金剛石線鋸精密切割過程實時糾偏方法，屬于大尺寸人工晶體的精密切割加工技術領域。其特征是使用光電位置檢測元件，實時檢測金剛石線鋸位置偏移量，并反饋給計算機控制系統，控制工作臺做出相應的位置、角度調整，從而使線鋸向降低切割偏差的方向移動，實現切割糾偏。本發明的效果和益處在于采用非接觸式的線鋸位置檢測和線鋸糾偏動作，可以避免對線鋸的接觸式檢測和糾偏所帶來的磨損；另外，本發明所采用的基于偏差反饋的糾偏策略，較之通過提高機床精度以降低切割跑偏的方法，可以在不顯著提高線鋸切割系統造價的同時，對大尺寸工件的線鋸精密切割獲得良好的糾偏效果。理論上本發明可以得到１７μｍ的最高糾偏精度。

       主權利要求：一種金剛石線鋸精密切割過程實時糾偏方法，使用光電位置檢測元件構成的糾偏控制系統，實時檢測金剛石線鋸位置偏移量，并反饋給控制系統，控制切割機床工作臺做出相應的位置、角度調整，以實現切割糾偏，其特征在于：（ａ）糾偏控制系統使用線陣ＣＣＤ或者面陣ＣＣＤ光電傳感器作為線鋸位置偏差檢測元件，且所述傳感器沿著線鋸分別放置于工件上、下表面，并貼近工件；（ｂ）糾偏控制算法基于工件原始切割面位置的記憶，糾偏以線鋸回歸到該零點位置為目標；（ｃ）切割糾偏動作是基于工作臺以下三種動作：１）角度調整；２）平移；３）角度調整結合平移。