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日本開發出生產晶圓狀大型單晶金剛石技術

之前的金剛石工藝技術為了得到板狀鉆石,通常將大型單結晶(晶錠)切成薄片,這處理,形成的切縫就會產生約1/3的加工損失,而且在晶圓加工后還要進行背面研磨等復雜的工序,這些...

日期 2010-09-07   

日本產綜研開發出大量生產晶圓狀大型單晶金剛石技術

日本產業技術綜合研究所(產綜研)鉆石研究中心單結晶底板開發小組開發出了大型單結晶鉆石晶圓制造技術。該技術結合運用了兩種技術:由籽晶直接制造薄板狀鉆石單結晶的&ldquo...

日期 2007-03-30   
  共 2 條記錄

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