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納米晶碳化硅薄膜的低溫沉積工藝

納米晶碳化硅薄膜的低溫沉積工藝

摘要:利用反應磁控濺射技術在純氫等離子體中100~600℃襯底溫度(Ts)下沉積出碳化硅薄膜。紅外吸收光譜和投射...

日期 2016-01-25   

微波法低溫沉積細晶粒金剛石薄膜   

名稱微波法低溫沉積細晶粒金剛石薄膜公開號1066299公開日1992.11.18主分類號C23C16/26&n

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