金剛石，一種古老而神奇的晶體材料，自古以來，作為珠寶以其閃耀的外表，深受人們喜愛。在精密制造、石油勘探、建材加工、航天航空等國民經(jīng)濟(jì)諸多領(lǐng)域得到了非常廣泛的應(yīng)用，在國民經(jīng)濟(jì)中占有舉足輕重的地位，金剛石也被譽(yù)為最鋒利的牙齒。同時(shí)，隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，單晶金剛石的各種優(yōu)異材料性能逐漸被挖掘出來，這種古老的材料在近幾十年再次成為學(xué)者們研究的熱點(diǎn)……

       金剛石——更高性能的科研利器

       金剛石兼具物理的和化學(xué)的優(yōu)良性質(zhì)，尤其是金剛石的半導(dǎo)體電氣性質(zhì)，即寬帶隙、高擊穿電場、高載流子遷移率和高熱導(dǎo)率，成為固態(tài)功率器件最有前途的半導(dǎo)體材料之一，被譽(yù)為“終極半導(dǎo)體”！另外，單晶金剛石憑借優(yōu)異的電學(xué)性質(zhì)在微電子機(jī)械系統(tǒng)、聲學(xué)器件、半導(dǎo)體器件、功率器件、探測器、生物醫(yī)療、量子計(jì)算通訊等領(lǐng)域的應(yīng)用日益受到學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界的關(guān)注，具有廣闊的應(yīng)用前景，其在科技領(lǐng)域的地位與重要性與日俱增，更高性能的科研利器！

圖1：金剛石性能與應(yīng)用領(lǐng)域（來源網(wǎng)絡(luò)，西安交通大學(xué)官網(wǎng)）

       同時(shí)，大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石的突破是制約其應(yīng)用的主要瓶頸，未來新應(yīng)用市場布局的必要前提。這也對(duì)金剛石的生長、加工技術(shù)、關(guān)鍵設(shè)備提出了新的要求。

就生長技術(shù)而言，隨著大尺寸人工合成金剛石材料制備技術(shù)的發(fā)展，特別是隨著高溫高壓(HTHP)法化學(xué)氣相沉積(CVD)法的研究深入，要想獲得更大尺寸的HPHT單晶金剛石，對(duì)設(shè)備的要求非常嚴(yán)苛，這造成了設(shè)備成本大幅度上升。由于CVD法合成金剛石打破了設(shè)備對(duì)襯底尺寸的限制，為大面積單晶金剛石生長提供條件，CVD法成為高純度、大面積的首選方案。目前，常用的CVD法合成單晶金剛石，主要包括微波等離子體CVD法(MPCVD)、熱絲CVD法、火焰燃燒CVD法和直流弧光等離子CVD法等。微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)單晶金剛石生長技術(shù)一般采用金屬作腔體，由于其微波能量無污染、氣體原料純凈、沒有催化劑和雜質(zhì)的摻入等優(yōu)勢，使得金剛石的質(zhì)量得到改善，在眾多金剛石制備方法中脫穎而出，成為制備大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石最有發(fā)展前景的技術(shù)之一，這也大大拓展了金剛石材料在高技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用潛力。

圖2：CVD生長金剛石過程（來源網(wǎng)絡(luò)）

       微波等離子體法——最有發(fā)展前景的技術(shù)之一

       目前，微波等離子體CVD法被認(rèn)為是一種理想的沉積金剛石的方法。近年來，我國CVD金剛石行業(yè)加大資金投入，并在MPCVD領(lǐng)域取得了較大進(jìn)展，CVD金剛石產(chǎn)量得到迅速增長。具體來看，從2014年的34.5萬克拉發(fā)展到2019年，我國CVD金剛石產(chǎn)量增長至95.8萬克拉以上，且在未來仍有著一定的增長空間。而隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，市場需求的持續(xù)增長，我國CVD金剛石行業(yè)市場規(guī)模也在穩(wěn)步擴(kuò)大，發(fā)展到2019年已經(jīng)增長至9750萬元以上，與上一年7850萬元的市場規(guī)模相比，增長近24.2個(gè)百分點(diǎn)，市場規(guī)模呈現(xiàn)出高速增長趨勢。

       從市場格局來看，近年來，隨著我國CVD金剛石行業(yè)技術(shù)的不斷成熟、市場規(guī)模的持續(xù)增長以及技術(shù)的逐漸擴(kuò)散，吸引了眾多中小型CVD金剛石生產(chǎn)企業(yè)加入市場其中，浙江、廣東、江蘇的中小型CVD金剛石生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量最多，已經(jīng)達(dá)到80余家，且仍在不斷的增長中，市場格局較為分散。

       MPCVD關(guān)鍵設(shè)備與市場格局

       MPCVD裝置最核心的是微波系統(tǒng)，其中微波諧振腔較為關(guān)鍵，如何將微波模式耦合聚集以及同時(shí)保證諧振腔真空密封性是裝置的設(shè)計(jì)難點(diǎn)，MPCVD裝置長時(shí)間運(yùn)行是其穩(wěn)定性的一個(gè)重要指標(biāo)。MPCVD裝置的總體發(fā)展趨勢是產(chǎn)生更高潔凈度、更高穩(wěn)定性和更大尺寸高能等離子體的沉積環(huán)境等。

       目前，MPCVD裝置種類繁多，從最早的石英管式發(fā)展到如今的微波諧振腔式，逐漸克服了早期功率低、雜質(zhì)多等諸多缺點(diǎn)。從微波等離子體諧振腔電場產(chǎn)生的模式來看，大體上可以分為兩類，單模諧振腔MPCVD裝置和多模諧振腔MPCVD裝置。按腔體的形狀來區(qū)分，則大體可分為矩形、橢球形和圓柱形諧振腔MPCVD裝置三類。另外，根據(jù)微波頻率的不同，可以將金剛石MPCVD系統(tǒng)分為2.45 GHz和915 MHz兩類。相比而言，915 MHz微波波長更長，可以激發(fā)出的高電場范圍更大，等離子體體積更大，更利于大尺寸金剛石膜的沉積。但長波長微波的傳輸以及維持大的等離子體球的運(yùn)行需要更高的輸入能量，限制大的等離子體球需要更大的腔室以及高能傳輸下硬件更強(qiáng)硬的承受能力，這些對(duì)915 MHz MPCVD裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、硬件加工等提出了更高的要求，因而難度更高，研發(fā)成本和難度限制了915 MHz MPCVD裝置的研究進(jìn)度。在實(shí)際科研中，使用較多的是2.45 GHz圓柱諧振腔式MPCVD系統(tǒng)。

圖3：MPCVD設(shè)備結(jié)構(gòu)與技術(shù)原理（來源網(wǎng)絡(luò)）

       在先進(jìn)MPCVD設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)及市場化方面，日本、美國及德國等國的團(tuán)隊(duì)處于領(lǐng)跑地位?其中，在平板石英窗式MPCVD設(shè)備和CAP式MPCVD設(shè)備的開發(fā)應(yīng)用方面，日本Seki公司在全球占據(jù)主導(dǎo)權(quán)，且保持技術(shù)領(lǐng)先水平?

       近年來，我國MPCVD設(shè)備開發(fā)相關(guān)的研究團(tuán)隊(duì)在新型MPCVD諧振腔的開發(fā)方面取得了一定的成果，但與國外先進(jìn)團(tuán)隊(duì)相比，國內(nèi)鮮有企業(yè)或機(jī)構(gòu)突破實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)量產(chǎn)的技術(shù)難點(diǎn)。因此，微波等離子體諧振腔的自主優(yōu)化設(shè)計(jì)、大尺寸金剛石制備工藝的改善等關(guān)鍵技術(shù)的突破亟待國內(nèi)相關(guān)團(tuán)隊(duì)持續(xù)的投入和鉆研，未來仍有較長的路要去探索。

       如何快速獲得高質(zhì)量MPCVD金剛石晶體？

       從MPCVD的原理上看：在微波能量的作用下，將沉積氣體激發(fā)成等離子體狀態(tài)，在由微波產(chǎn)生的電磁場的作用下，腔體內(nèi)的電子相互碰撞并產(chǎn)生劇烈的振蕩，促進(jìn)了諧振腔內(nèi)其它的原子、基團(tuán)及分子之間的相互碰撞，從而有效地提高反應(yīng)氣體的離化程度，產(chǎn)生更高密度的等離子體的產(chǎn)生。在反應(yīng)過程中原料氣體電離化程度達(dá)到10%以上，使得腔體中充滿過飽和原子氫和含碳基團(tuán)，從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積質(zhì)量得到改善。

圖4：MPCVD金剛石生長原理圖

       因此，一個(gè)有效加速生長的手段，通過增加生長時(shí)艙內(nèi)的氣壓和輸入的微波功率，可以促進(jìn)加強(qiáng)反應(yīng)氣體的分解電離，提高各反應(yīng)基團(tuán)的濃度和活性，促進(jìn)生長，提高生長效率。此外，通過對(duì)裝置進(jìn)行改進(jìn)，降低功率損失，也可提高金剛石的生產(chǎn)效率。在實(shí)驗(yàn)中，MPCVD的功率密度是十分重要的生長參數(shù)，不同的功率密度生長出的金剛石質(zhì)量、表面形貌等都不相同，需要將設(shè)備調(diào)整到合適的功率密度下才能生長出高質(zhì)量單晶金剛石。

       生長MPCVD單晶金剛石所用氣源主要有氫氣(H2)、甲烷(CH2)、氮?dú)?N2)和氧氣(O2)，在微波作用下裂解成H、O、N原子或CH2、CH3、C2H2、OH等基團(tuán)。含碳基團(tuán)(CH2、CH3、C2H2)將在金剛石表面形成氣固混合界面，在動(dòng)態(tài)平衡模型或非平衡熱力學(xué)模型下實(shí)現(xiàn)金剛石(sp3)、非晶碳或石墨(sp2)的生長。氫等離子體刻蝕非晶碳或石墨(sp2)的速度比刻蝕金剛石(sp3)快得多，因此，增加原子H和甲基CH3的濃度是提高單晶生長速率最直接的方法之一。

       但實(shí)際上這個(gè)微觀過程十分復(fù)雜，僅在氫氣和甲烷兩種原料氣體所激發(fā)的等離子體中就至少存在20種以上的由游離碳原子和氫原子構(gòu)成的不同基團(tuán)，且相互之間不斷進(jìn)行轉(zhuǎn)化。MPCVD金剛石生長過程中包括大量的理化反應(yīng)與傳輸過程。根據(jù)反應(yīng)發(fā)生的位置和性質(zhì)可大致分為等離子體中氫原子和活性碳基團(tuán)的產(chǎn)生和襯底表面碳元素的沉積兩類。其中在各界面處還包含著熱力學(xué)變化、物質(zhì)擴(kuò)散等物理現(xiàn)象。

圖5：金剛石生長機(jī)理及模型示意圖

       另外，添加一定比例惰性氣體摻雜也是提高M(jìn)PCVD單晶金剛石生長速率的常用手段，例如氮?dú)狻鍤獾取?jù)武漢工程大學(xué)汪建華教授團(tuán)隊(duì)研究工作表明氮?dú)獾奶砑訉?duì)于等離子體內(nèi)基團(tuán)的種類并沒有明顯改變，但隨著氮?dú)鉂舛鹊纳撸珻N基團(tuán)的基團(tuán)強(qiáng)度具有明顯升高的趨勢，C2基團(tuán)的基團(tuán)強(qiáng)度不斷降低，單晶金剛石的生長速率不斷提高，隨著氮?dú)饧尤氡壤奶岣撸饎偸L速率逐漸趨于飽和。氮?dú)獠⒉皇峭ㄟ^提高甲烷的離解度來產(chǎn)生更多的C2基團(tuán)從而促進(jìn)單晶金剛石的生長，而是作為一種催化劑加快單晶金剛石表面的化學(xué)反應(yīng)。

       而金剛石的生長速率與其生長質(zhì)量存在矛盾關(guān)系，較快生長的金剛石的生長面積被限制在幾毫米，均勻性較差。在生長過程中，氫原子可以刻蝕sp2相并且促進(jìn)碳?xì)浠鶊F(tuán)在金剛石襯底上的沉積，摻入少量氫氣有助于在提高生長速率的同時(shí)，得到較高質(zhì)量的金剛石。另外，對(duì)于金剛石在半導(dǎo)體、功率器件、探測器等高精尖領(lǐng)域，雜質(zhì)含量、缺陷密度的要求十分嚴(yán)格苛刻，尤其是制備電子級(jí)別單晶金剛石，因此，在制備的過程中，高純的原料氣體以及高效可靠的真空系統(tǒng)是必須的條件之一。

       如何快速獲得大尺寸單晶金剛石？

       除了生長速率和晶體質(zhì)量，大尺寸金剛石的制備一直是困擾國內(nèi)外科學(xué)家的難題。尤其是隨著5G通訊時(shí)代迅速全面展開，金剛石材料在半導(dǎo)體、高頻功率器件中的應(yīng)用日益凸顯。金剛石及制品是超精密加工、智能電網(wǎng)等國家重大戰(zhàn)略實(shí)施及智能制造、5G通訊等產(chǎn)業(yè)群升級(jí)的重要材料基礎(chǔ)，這一技術(shù)的突破與產(chǎn)業(yè)化對(duì)于中國智能制造、大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)自主安全具有重大意義。為此，要求金剛石材料的研究向大尺寸、低缺陷、低電阻率和高導(dǎo)熱的方向發(fā)展。

       與多晶金剛石相比，無晶界制約的單晶金剛石的光學(xué)、電學(xué)性能更加優(yōu)異，在量子通信/計(jì)算輻射探測器、冷陰極場發(fā)射顯示器、半導(dǎo)體激光器、超級(jí)計(jì)算機(jī)CPU芯片多維集成電路及軍用大功率雷達(dá)微波行波管導(dǎo)熱支撐桿等前沿科技領(lǐng)域的應(yīng)用效果突出，而制備出大尺寸高質(zhì)量的單晶金剛石是前提。

       金剛石作為晶圓，其尺寸必須要達(dá)到2英寸以上。目前制備大尺寸金剛石及晶圓的技術(shù)主要有馬賽克拼接、同質(zhì)外延生長、異質(zhì)外延生長、三維生長等技術(shù)。

       馬賽克拼接法拼接金剛石單晶片的研究開始于1995年，作為制備大尺寸單晶金剛石可行性較高的一種方法。將多片取向相似、品質(zhì)相同的均一襯底拼接生長，結(jié)合剝離技術(shù)，已實(shí)現(xiàn)大尺寸單晶金剛石的制備，目前已實(shí)現(xiàn)單晶wafer最大2英寸。但馬賽克拼接法對(duì)襯底均一性要求高、存在晶界，會(huì)導(dǎo)致拼接處存在應(yīng)力、缺陷等問題，影響了單晶金剛石拼接片的質(zhì)量。另外成本高，需要注入剝離技術(shù)，成品率很低。

       同質(zhì)外延是制備金剛石電子器件的重要技術(shù)之一，其具有缺陷密度低的特點(diǎn)，最大尺寸可達(dá)0.5英寸(1英寸=2.54cm)。然而，在同質(zhì)外延制備單晶金剛石的過程中，如何將單晶金剛石從襯底上剝離，是一個(gè)非常重要的環(huán)節(jié)，同時(shí)也是比較困難的。因?yàn)橐r底同樣是堅(jiān)硬無比的單晶金剛石，不能用普通的切割方法進(jìn)行切割，常用的方法有機(jī)械拋光和激光切割。

       異質(zhì)外延也是生長大面積單晶金剛石的一種有效方法。異質(zhì)外延是指在Si、藍(lán)寶石、MgO等襯底上利用緩沖層來緩解金剛石與襯底的熱失配和晶格失配，最終實(shí)現(xiàn)單晶金剛石薄膜的生長，其中最有效的緩沖層為Ir等。理論上該方法可以生長面積足夠大的單晶金剛石，以滿足其在電子器件領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)化需求，其主要不足是缺陷密度高。

       在微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)生長技術(shù)中突破了加氮高速生長、脈沖放電高效率生長和離子注入剝離等關(guān)鍵技術(shù)后，近10年來又實(shí)現(xiàn)了多方向重復(fù)的三維MPCVD高速外延生長(生長速率100μm·h-1)，大尺寸、厚而無多晶金剛石邊緣的生長和采用等離子體CVD在(H，C，N，O)系統(tǒng)中200h無邊界連續(xù)生長等創(chuàng)新技術(shù)。

       目前國內(nèi)外很多研究機(jī)構(gòu)從事MPCVD法生長金剛石的研究，國外主要有元素六公司、法國Geophysical實(shí)驗(yàn)室、日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所；國內(nèi)主要包括北京科技大學(xué)李成明教授團(tuán)隊(duì)、武漢工程大學(xué)汪建華教授團(tuán)隊(duì)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)朱嘉琦教授團(tuán)隊(duì)、鄭州大學(xué)單崇新教授團(tuán)隊(duì)、吉林大學(xué)鄒廣田院士團(tuán)隊(duì)、西安電子科技大學(xué)郝躍院士團(tuán)隊(duì)、中科院寧波材料所江南研究員團(tuán)隊(duì)、中科院半導(dǎo)體所金鵬研究員團(tuán)隊(duì)、西安交通大學(xué)王宏興教授團(tuán)隊(duì)等眾多知名團(tuán)隊(duì)。

       總的來說，高速率、高品質(zhì)、大尺寸一直以來就是MPCVD單晶金剛石生長領(lǐng)域的熱點(diǎn)問題。當(dāng)考慮高速率與高品質(zhì)兩者相結(jié)合時(shí)，不同的生長手段間又出現(xiàn)相互矛盾的地方。這就需要實(shí)驗(yàn)與設(shè)備優(yōu)化，調(diào)整生長參數(shù)，探索適合于高等離子體密度條件下的生長工藝。大尺寸高質(zhì)量的單晶金剛石是前提，作為晶圓，其尺寸必須要達(dá)到2英寸以上。隨著科學(xué)家們的不斷努力，相信金剛石的制備技術(shù)一定會(huì)有飛躍式的發(fā)展，解決瓶頸，克服難題！

       探索金剛石應(yīng)用與市場的無限可能

       基于此，2021年12月13-15日，由DT新材料&中國超硬材料網(wǎng)聯(lián)合主辦的第六屆國際碳材料大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)——金剛石與超精密加工論壇將在上海跨國采購會(huì)展中心拉開帷幕。本屆論壇設(shè)置極端制造與超精密加工論壇、金剛石前沿功能應(yīng)用論壇2大方向，邀請(qǐng)近30位行業(yè)內(nèi)頂級(jí)專家，圍繞半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈展開，從半導(dǎo)體的超精密加工技術(shù)、襯底技術(shù)、高功率器件與碳基散熱解決方案、到半導(dǎo)體電子器件前沿應(yīng)用等展開話題討論，探索金剛石應(yīng)用的無限可能！

       同時(shí)，此次會(huì)議堅(jiān)持“產(chǎn)學(xué)研結(jié)合”宗旨，針對(duì)金剛石產(chǎn)業(yè)鏈，設(shè)置5000m2特色展區(qū)，為金剛石領(lǐng)域相關(guān)原輔材料、相關(guān)工具制品、創(chuàng)新產(chǎn)品及設(shè)備等提供展示區(qū)域，為企業(yè)提供更好的交流合作平臺(tái)。幫助參會(huì)單位解決實(shí)際問題的同時(shí)，也共同探討新技術(shù)、新突破和新發(fā)展，開啟金剛石邁向高端領(lǐng)域應(yīng)用的新時(shí)代。

       Carbontech 2021 在此誠摯邀請(qǐng)金剛石產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)人才與企業(yè)共同參與，共同促進(jìn)金剛石行業(yè)快速繁榮發(fā)展！！！

       展商風(fēng)采：MPCVD關(guān)鍵設(shè)備與氣體

       普敦實(shí)驗(yàn)室設(shè)備（上海）有限公司

       負(fù)責(zé)美國高新企業(yè)50強(qiáng)的Pureton實(shí)驗(yàn)室用氣設(shè)備在中國區(qū)域的業(yè)務(wù)拓展和服務(wù)。公司自成立以來，在Pureton協(xié)助下，已成立銷售、市場、售后及后勤保障部門，致力于為客戶提供及時(shí)的服務(wù)。我們的氫氣、氮?dú)夂土慵?jí)空氣發(fā)生器可以提供200 cc/min - 400 Nm3/hr+的氣體容量，可滿足各領(lǐng)域的用氣需求，同時(shí)我們的服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)分布各地，提供7*24小時(shí)響應(yīng)服務(wù)。在美國Pureton的支持下，我們也推出適合中國本土市場的PURETON系列氮?dú)獍l(fā)生器，為您提供安全便捷，經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的實(shí)驗(yàn)室安全用氣解決方案。

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       成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司成立于2015年，是一家專注于固態(tài)射頻能量應(yīng)用的國家高新技術(shù)企業(yè)。自成立以來，沃特塞恩持續(xù)開發(fā)了覆蓋ISM頻段的全系列固態(tài)功率源產(chǎn)品，以不斷迭代升級(jí)的高性能產(chǎn)品填補(bǔ)了全球工業(yè)領(lǐng)域固態(tài)功率源產(chǎn)品市場的空白。經(jīng)過沃特塞恩和紐曼和瑞對(duì)HMPS系列MPCVD產(chǎn)品持續(xù)的打磨更新，正式推出DiaMiner系列旗艦產(chǎn)品，DiaMiner系列提供最大2英寸、4英寸和8英寸的金剛石生產(chǎn)能力，集成獨(dú)特的大單晶金剛石生產(chǎn)工藝、全自動(dòng)化控制技術(shù)、高穩(wěn)定性的固態(tài)功率源、半導(dǎo)體級(jí)的潔凈供氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)等技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高效率、無人化管理的穩(wěn)定批量產(chǎn)出。沃特塞恩團(tuán)隊(duì)始終堅(jiān)持以科技創(chuàng)新為主的發(fā)展方向，不懈追求產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新和工藝提升、夯實(shí)生產(chǎn)管理能力、嚴(yán)格把控產(chǎn)品質(zhì)量，致力成為專業(yè)全能的培育鉆石生產(chǎn)解決方案提供商，以高性能產(chǎn)品和工藝解決方案助力碳材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展，成為值得全球客戶托付信賴的合作伙伴！

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       上海麥曲能源科技有限公司，由多名行業(yè)專家聯(lián)合創(chuàng)辦。作為美國派克漢尼汾公司的授權(quán)分銷商，我公司依托派克過濾、儀器儀表、自動(dòng)化控制，密封，液壓等產(chǎn)品集團(tuán)平臺(tái)，以專業(yè)精神為主導(dǎo)，秉承科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ鲬B(tài)度，精細(xì)周到的服務(wù)理念，憑借派克公司強(qiáng)大，優(yōu)質(zhì)，多譜系的產(chǎn)品系列，在充分考慮每一位客戶的真實(shí)需求和用戶對(duì)方便、安全，節(jié)能、可靠，環(huán)保、可持續(xù)的應(yīng)用訴求，誠心為壓縮空氣后處理、天然氣處理、工藝過濾，食品飲料、生物醫(yī)藥、生命科學(xué)、半導(dǎo)體、環(huán)保，醫(yī)療儀器，石油化工等行業(yè)的客戶提供技術(shù)和應(yīng)用咨詢服務(wù)，一站式解決方案、產(chǎn)品采購和售后服務(wù)。

       北京泰科諾科技有限公司

       北京泰科諾是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)真空薄膜新材料沉積設(shè)備的高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有一支由國內(nèi)知名專家教授領(lǐng)銜的技術(shù)研發(fā)及顧問團(tuán)隊(duì)，具有一流技術(shù)及自主研發(fā)創(chuàng)新能力，并建有開放的工藝實(shí)驗(yàn)室，始終保持國內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先。多年來，北京泰科諾除致力于PVD涂層技術(shù)及設(shè)備研發(fā)制造外，更專注于CVD金剛石生長設(shè)備及工藝技術(shù)的研發(fā)、制造，獲得多項(xiàng)發(fā)明專利及技術(shù)，技術(shù)國際領(lǐng)先，部分產(chǎn)品填補(bǔ)國內(nèi)空白，可提供金剛石涂層設(shè)備、工藝技術(shù)全套解決方案。泰科諾CVD金剛石生長設(shè)備廣泛應(yīng)用于刀具金剛石涂層，污水處理BBD金剛石電極，紅外窗口材料、動(dòng)力電池電極等多個(gè)高科技領(lǐng)域，深受廣大用戶好評(píng)。

       合肥博雷電氣有限公司

       合肥博雷電氣有限公司成立于2005年，是一家專注于高功率微波裝備和特種電源研發(fā)與生產(chǎn)的國家高新技術(shù)企業(yè)，科研場所約5000平方米，員工百余人。公司現(xiàn)已掌握高功率微波發(fā)射技術(shù)、特種電源變換技術(shù)、軟件控制技術(shù)、高功率脈沖EMC工程設(shè)計(jì)技術(shù)、高電壓絕緣技術(shù)等關(guān)鍵核心技術(shù)，形成了微波裝備、特種電源系列等業(yè)務(wù)板塊，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于微波等離子體、微波醫(yī)療垃圾處理、微波加熱、干燥、解凍、高能物理、公共安全、科學(xué)研究和工業(yè)制造等領(lǐng)域，并承擔(dān)了多項(xiàng)國家級(jí)、省級(jí)科研及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，公司依托核心技術(shù)、品質(zhì)優(yōu)勢、良好信譽(yù)、完善的企業(yè)管理和深度服務(wù)深得客戶的信賴和贊譽(yù)。

       浙江飛越機(jī)電有限公司

       VALUE飛越是一家致力于真空設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)，現(xiàn)已在108個(gè)國家建有“VALUE”自主品牌銷售渠道，并為超過10家世界500強(qiáng)企業(yè)提供服務(wù)。憑借在真空領(lǐng)域20多年的經(jīng)驗(yàn)，我們可提供種類齊全的產(chǎn)品和最可靠的工業(yè)真空技術(shù)，滿足各種不同行業(yè)的需求。并不斷完善了以“速度、創(chuàng)新、高品質(zhì)”為核心的能力，致力于為全球客戶提供創(chuàng)新、高品質(zhì)的真空設(shè)備，幫助客戶更高效率、更高質(zhì)量地完成工作，幫助客戶成功！

       上海華械自動(dòng)化設(shè)備有限公司

       上海華械自動(dòng)化設(shè)備有限公司自2011年成立以來一直致力于流量、壓力的傳感與控制，公司以其多年在各個(gè)行業(yè)累計(jì)的技術(shù)力量和優(yōu)秀的售后服務(wù)，在中國的新能源(光伏、燃料電池、風(fēng)能等)、生物醫(yī)療、半導(dǎo)體、氣體分析、石化、冶金、食品、造紙、水處理、工業(yè)爐等領(lǐng)域擁有大量客戶，特別擅長為各類成套成套設(shè)備提供技術(shù)解決方案等，不只是提供產(chǎn)品，更多的是提供技術(shù)支持服務(wù)。

       成都穩(wěn)正科技有限公司

       成都穩(wěn)正科技有限公司成立于2019年，是一家專注于 CVD等離子金剛石設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售以及金剛石材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技企業(yè)，公司設(shè)立在譽(yù)有天府之國的四川成都的郫都區(qū)電子產(chǎn)業(yè)功能區(qū)高品質(zhì)產(chǎn)業(yè)空間。在公司產(chǎn)品方面，緊密跟著市場方面和行業(yè)技術(shù)方面的現(xiàn)狀，且積極響應(yīng)客戶的全方位需求，提供從最初的廠房設(shè)計(jì)方案，到中期配套輔助設(shè)備設(shè)計(jì)方案，再到后期的工藝輔助方案，以及貼心的售后服務(wù)。我們以積極的心態(tài)不斷優(yōu)化產(chǎn)品，令客戶得到最優(yōu)質(zhì)的的服務(wù)和最好的投資回報(bào)。

       成都華宇微波技術(shù)有限公司

       公司專業(yè)從事微波等離子體系統(tǒng)研發(fā)與制造，并為用戶提供微波等離子體定制化設(shè)備。主要產(chǎn)品有微波等離子體（ECR）系統(tǒng)、微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng)、微波等離子體火炬等。公司研發(fā)的設(shè)備主要應(yīng)用于材料表面處理與改性、金剛石薄膜和單晶金剛石制備等新材料、微電子、等領(lǐng)域。

       上海鉑世光半導(dǎo)體科技有限公司

       上海鉑世光半導(dǎo)體科技有限公司是一家專業(yè)生產(chǎn)MPCVD設(shè)備的高新技術(shù)企業(yè),位于上海市青浦區(qū)高新成果轉(zhuǎn)化基地，公司交通條件便利，建有一流的實(shí)驗(yàn)室及潔凈生產(chǎn)車間，具有國際一流的生產(chǎn)及測試設(shè)備。公司由全球行業(yè)內(nèi)頂尖技術(shù)人員領(lǐng)銜，目前已成功研發(fā)生產(chǎn)出國際領(lǐng)先的MPCVD人造金剛石設(shè)備，并大批量交付客戶使用，公司產(chǎn)品性能已超過國際同行，具有較強(qiáng)的市場競爭力。公司專注于微波等離子設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)，不斷做強(qiáng)做大MPCVD產(chǎn)品系列，成為國際領(lǐng)先的MPCVD設(shè)備供應(yīng)商，同時(shí)拓展半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是在微波等離子領(lǐng)域，公司有深厚的技術(shù)積累，公司矢志成為行業(yè)的全球性技術(shù)型領(lǐng)軍企業(yè)。

       科電工程有限公司（科電）

       科電工程有限公司〈"科電"〉于1980年在香港成立，是具有全球業(yè)務(wù)網(wǎng)絡(luò)的康世集團(tuán)的成員，也是亞洲及大中華區(qū)主要工業(yè)物料及設(shè)備、電子測量系統(tǒng)及設(shè)備、及表面貼裝生產(chǎn)設(shè)備提供者之一我們提供廣泛用于電子制造業(yè)的生產(chǎn)設(shè)備、電子測量系統(tǒng)及設(shè)備、工業(yè)物料及設(shè)備，包括高精度表面貼裝生產(chǎn)系統(tǒng)等另設(shè)備部專注于提供微波等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備應(yīng)用于金剛石和碳材料研發(fā)與生產(chǎn)等相關(guān)行業(yè)。

       北京杰能達(dá)機(jī)電設(shè)備有限公司

       北京杰能達(dá)微波機(jī)電設(shè)備有限公司是德國muegge牧歌中國售前售后服務(wù)商，為中國用戶服務(wù)了15年，提供了數(shù)千臺(tái)2KW、3KW、6kW、10KW、15KW、75KW微波發(fā)生器，我們一如既往的為我們的客戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

       上海利城五金機(jī)電商店

       上海利城五金機(jī)電商店創(chuàng)建于1997年，致力于為客戶提供一站式解決方案，是集品牌推廣，產(chǎn)品技術(shù)服務(wù)，設(shè)備集成配套，于一體的專業(yè)性公司，我們的產(chǎn)品超過三萬個(gè)品種廣泛應(yīng)用于氫能，石化，汽車，航空等行業(yè)。我們一直秉持一個(gè)不變的信念：品質(zhì)、服務(wù)、專業(yè)、創(chuàng)新！這也將是我們對(duì)客戶始終如一的承諾。

       成都?xì)W拉微波元器件有限公司

       歐拉微波成立于2004年，17年來一直專注于無源微波波導(dǎo)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、開發(fā)、生產(chǎn)和銷售。總部位于成都金堂縣淮洲新城，擁有5000平方米的科研生產(chǎn)基地。

— 產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于雷達(dá)與電子對(duì)抗、衛(wèi)星通信、廣播電視通信、工業(yè)微波、測試與測量等無線電微波領(lǐng)域,得到了客戶的高度認(rèn)可和廣泛好評(píng)。

       上海唐亞過濾器材有限公司

       上海唐亞是美國派克漢尼汾公司中國區(qū)的授權(quán)分銷商，同時(shí)也是派克過濾集團(tuán)亞太地區(qū)最大的分銷商。在中高端工業(yè)流體控制領(lǐng)域，尤其是過濾和管閥件的應(yīng)用點(diǎn)，我們憑借派克優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品質(zhì)量和豐富的產(chǎn)品線，致力于為用戶提供專業(yè)、有效的解決方案，協(xié)助用戶提高產(chǎn)品質(zhì)量和市場競爭力是我們的目標(biāo)。上海唐亞為CVD行業(yè)提供的產(chǎn)品包括氫氣發(fā)生器、甲烷純化器、輔助設(shè)備和管路控制元件等。更為可貴的是，我們擁有卓越的整體設(shè)計(jì)能力，提供一站式服務(wù)。而這一服務(wù)已經(jīng)得到了眾多客戶的高度認(rèn)可，業(yè)績遍及全國。

       宜昌中碳未來科技有限公司

       宜昌中碳未來科技有限公司致力于超寬禁帶半導(dǎo)體材料生長設(shè)備的自主研發(fā)，能夠自主生產(chǎn)2.45GHz、915MHz微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石生長設(shè)備，能夠滿足半導(dǎo)體器件、精密加工、散熱等多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的材料生產(chǎn)需求。

       成都邁頻匯能科技有限公司

       成都邁頻匯能科技有限公司成立于2019年7月，是一家專業(yè)從事微波能量系列產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)、微波/射頻組件研發(fā)、數(shù)字電路研發(fā)、無源組件設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)件機(jī)加工的高新技術(shù)企業(yè)。公司目前在申請(qǐng)發(fā)明專利5件、已授權(quán)實(shí)用新型專利7件。公司核心研發(fā)人員具有電子、通信專業(yè)博士或碩士學(xué)歷，研發(fā)團(tuán)隊(duì)成員均在本領(lǐng)域從事技術(shù)工作多年，具備深厚的專業(yè)知識(shí)、豐富的經(jīng)驗(yàn)和優(yōu)秀的素質(zhì)。建立在充分理解客戶需求的基礎(chǔ)上，公司愿向國內(nèi)外各行業(yè)客戶提供高標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)服務(wù)和面向多種場景的解決方案。

       參考文獻(xiàn)：

       1、《CVD金剛石熱沉封裝高功率半導(dǎo)體激光器的熱特性》DOI:10.16136/jj.oel.2019.03.0308

       3、西安電子科技大學(xué)張金風(fēng)教授Carbontech2020報(bào)告

       4、《金剛石散熱襯底在GaN基功率器件中的應(yīng)用進(jìn)展》DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.11.013

       5、《金剛石封裝半導(dǎo)體激光器特性研究》DOI:10.16589/j.cnki.cn11-3571/tn.2020.23.029

       6、《超寬禁帶半導(dǎo)體金剛石功率電子學(xué)研究的新進(jìn)展》DOI:10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.02.001

       7、《MPCVD法合成單晶金剛石的研究及應(yīng)用進(jìn)展》DOI:10.3969/j.issn.1006-7086.2015.03.0027、

       8、《MPCVD法中氮?dú)鈱?duì)單晶金剛石生長機(jī)理影響的探究》DOI:10.13922/j.cnki.cjovst.2018.08.07

       10、《MPCVD 單晶金剛石生長及其電子器件研究進(jìn)展》DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2020.11.006