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官方微信摘要 名稱金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法公開號1191243公開日1998.08.26主分類號C23C16/26&nb
| 名稱 | 金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法 | ||
| 公開號 | 1191243 | 公開日 | 1998.08.26 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26 |
| 申請?zhí)?/strong> | 97125204.1 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1997.12.26 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 復(fù)旦大學(xué); 寶山鋼鐵(集團(tuán))公司 | 地址 | 200433上海市邯鄲路220號 |
| 發(fā)明人 | 應(yīng)萱同; 王小寶 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 復(fù)旦大學(xué)專利事務(wù)所 | 代理人 | 姚靜芳 |
| 摘要 | 本發(fā)明是一種金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法。目前金剛石薄膜窗口透光波段的研究及應(yīng)用局限在２．５—２５μｍ范圍，使用中受到限制。本發(fā)明用電子束輔助熱燈絲化學(xué)氣相沉積方法；兩步法高密度成核金剛石優(yōu)化生長工藝；多光束干涉法薄膜厚度監(jiān)控，克服了光在近紅外波段的散射問題，研制成功具有光學(xué)鏡面級表面的金剛石薄膜，制得的窗口用于近紅外（１．１—１．８μ）探測器，靈敏可靠，抗高溫，抗腐蝕，抗水，抗塵，堅(jiān)硬耐磨，維護(hù)方便。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號