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采用金剛石涂層的模制場致發射電子發射極及其制造方法

關鍵詞金剛石涂層 , 發射電子 , 制造|2010-12-09 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱采用金剛石涂層的模制場致發射電子發射極及其制造方法公開號1069827公開日1993.03.10主分類號H0

名稱	采用金剛石涂層的模制場致發射電子發射極及其制造方法
公開號	1069827	公開日	1993.03.10
主分類號	H01J1/30	分類號	H01J1/30;H01J9/02
申請號	92105475.0
分案原申請號		申請日	1992.07.06
頒證日		優先權	[32]1991.8.20[33]US[31]07/747,562
申請人	莫托羅拉公司	地址	美國伊利諾斯
發明人	羅伯特·C·凱恩; 詹姆斯·E·賈斯基	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	中國國際貿易促進委員會專利代理部	代理人	鄒光新
摘要	置于導電／半導電材料層（４０７）表面的利用金剛石材料涂層（４０６）的場致發射電子發射極由包括以下步驟的方法構成：在經選擇成型的襯底（４０１）的表面注入碳離子（４０４），對形成金剛石晶體來說起集結區的作用。在金剛石（４０６）上淀積導電層（４０７），并去除襯底（４０１），留下具有金剛石涂層的電子發射極。

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