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采用金剛石涂層的模制場致發射電子發射極及其制造方法

關鍵詞 金剛石涂層 , 發射電子 , 制造|2010-12-09 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱采用金剛石涂層的模制場致發射電子發射極及其制造方法公開號1069827公開日1993.03.10主分類號H0

 

名稱 采用金剛石涂層的模制場致發射電子發射極及其制造方法 
公開號 1069827    公開日 1993.03.10   
主分類號 H01J1/30  分類號 H01J1/30;H01J9/02 
申請號 92105475.0   
分案原申請號   申請日 1992.07.06   
頒證日   優先權 [32]1991.8.20[33]US[31]07/747,562 
申請人 莫托羅拉公司    地址 美國伊利諾斯  
發明人 羅伯特·C·凱恩; 詹姆斯·E·賈斯基  國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構 中國國際貿易促進委員會專利代理部    代理人 鄒光新   
摘要   置于導電/半導電材料層(407)表面的利用金剛石材料涂層(406)的場致發射電子發射極由包括以下步驟的方法構成:在經選擇成型的襯底(401)的表面注入碳離子(404),對形成金剛石晶體來說起集結區的作用。在金剛石(406)上淀積導電層(407),并去除襯底(401),留下具有金剛石涂層的電子發射極。
 

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