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汽相淀積金剛石的方法及裝置

關鍵詞汽相淀積 , 金剛石 , 方法 , 裝置 |2010-12-09 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱汽相淀積金剛石的方法及裝置公開號1060316公開日1992.04.15主分類號C23C16/26

名稱	汽相淀積金剛石的方法及裝置
公開號	1060316	公開日	1992.04.15
主分類號	C23C16/26	分類號	C23C16/26;C23C16/50;C01B31/06;H01L21/205
申請號	91109955.7
分案原申請號		申請日	1988.04.02
頒證日		優先權	[32]1987.4.3[33]JP[31]083318/87;[32]1987.9.4[33]JP
申請人	富士通株式會社	地址	日本神奈川縣
發明人	栗原和明; 佐佐木謙一; 河原田元信; 越野長明	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	中國國際貿易促進委員會專利代理部	代理人	王杰
摘要	汽相淀積金剛石的方法：$在熱等離子體化學汽相淀積裝置的陰陽極之間通入放電氣的同時進行電弧放電；$通過向形成的等離子流中加入氣態碳化物使氣態碳化合物自由基化；以及$使所述的自由基化的等離子流碰撞待處理的基片，從而在所述基片上形成一層金剛石膜。

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