申請日: 2016.10.21
國家/省市: 中國上海(31)
公開號: 106544641A
公開日: 2017.03.29 主分類號: C23C 16/27(2006.01)
授權公告號: 授權公告日: 分類號: C23C 16/27(2006.01); C23C 16/02(2006.01)
申請人: 上海交通大學; 上海交閔精密耐磨器件有限公司
發明人: 申笑天; 孫方宏; 王新昶; 郭松壽; 張文驊; 郭睿
代理人: 郭國中 陳少凌
代理機構: 上海漢聲知識產權代理有限公司(31236)
申請人地址: 上海市閔行區東川路800號
摘要: 本發明涉及一種制備硬質合金基體金剛石涂層的噴砂預處理方法;該方法針對硬質合金基體;首先,采用噴砂技術對硬質合金基體表面進行沖蝕粗化,然后采用酸處理以對基體進行脫鈷,制備出適合金剛石薄膜生長的均勻粗化的表面形貌。本發明涉及的預處理方法與常規酸堿兩步法預處理相比,可以有效控制硬質合金基體表面粗糙度,極大提高金剛石涂層沉積初期的形核密度,并且在預處理后不會形成疏松層,有效提高了金剛石涂層與基體的附著力。該預處理方法不受基體形狀的限制,適用于復雜形狀硬質合金基體的金剛石涂層制備,且操作簡單、應用方便,生產效率高、無污染,產業化前景光明,因而具有顯著地經濟效益。
主權利要求
1.一種制備硬質合金基體金剛石涂層的預處理方法,其特征在于,所述方法包括噴砂處理和酸處理步驟;所述噴砂處理為:采用噴砂設備,以石英砂高壓氣流為介質對硬質合金基體進行沖蝕粗化;所述酸處理為:將經過噴砂處理的硬質合金基體浸泡在Caro混合酸溶液中進行刻蝕。
