申請人:濟南中烏新材料有限公司 山東貝斯特環境技術有限公司
發明人:王盛林 王篤福 王希江 王希瑋 徐昌
摘要:一種金剛石單晶生長腔體溫度測量裝置,包括頂錘、夾持環和溫度傳感器,頂錘設置在夾持環的端部,溫度傳感器封裝在夾持環內。溫度傳感器通過引線連接至溫度測量儀表或模塊,在金剛石單晶生長腔體的前后左右四面各設置一個上述測溫裝置。頂錘感知生長腔體內的溫度,通過夾持環內的溫度傳感器測量該溫度,根據該溫度與生長腔體1內實際溫度的相關性,從而得到腔體內的溫度。該裝置測量過程簡單,成本低,通過測量頂錘溫度,根據該溫度與腔體內實際溫度的相關性,從而得到腔體內的溫度,不直接測量處于高溫高壓條件下的腔體內溫度。

2.根據權利要求1所述的金剛石單晶生長腔體溫度測量裝置,其特征是:所述頂錘與夾持環的結合處呈弧形。
3.根據權利要求1所述的金剛石單晶生長腔體溫度測量裝置,其特征是:所述夾持環內設置有冷卻水道,溫度傳感器位于冷卻水道的上方。
4.根據權利要求1所述的金剛石單晶生長腔體溫度測量裝置,其特征是:所述溫度傳感器的封裝孔底部設置有銅墊片。