2月13日,根據日本EDP公司官網,宣布成功開發出全球最大級別30x30mm以上的金剛石單晶,刷新行業紀錄!此前30×30mm以上基板需采用多晶拼接技術,現可通過離子注入剝離技術實現大尺寸單晶基板。
大尺寸單晶金剛石襯底(32x31.5mm)。圖源:EDP
據悉,日本EDP公司(株式會社EDP)是日本產業技術綜合研究所(產總研)下屬的一家高科技企業,主要致力于金剛石半導體技術的發展。EDP公司在金剛石半導體領域具有顯著的技術優勢和領先地位,其主要產品包括高濃度硼摻雜金剛石基板、人造金剛石生產用大型籽晶和半導體用大型基板等。
此前消息,2023年8月,EDP公司宣布成功開發了高濃度硼摻雜的金剛石基板,并實現了其商品化。這些基板包括低電阻自支撐金剛石基板和外延生長基板,尺寸限制在7mm×7mm,但通過11月推出的15x15mm單晶,成功擴大了低電阻基板的面積,實現了商品化。2024年10月,EDP公司宣布進一步開發了更大尺寸的單晶,尺寸達到10x10mm、0.2x0.3mm、12.5x12.5mm等,基本特性與2023年8月產品一致。