申請(qǐng)?zhí)枺?01510241996.X
　　申請(qǐng)人：華僑大學(xué)
　　發(fā)明人：陸靜 徐西鵬 李東旭 王亞光 賴孟玲

　　摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒及其制備方法和應(yīng)用，該摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒包括粒徑50nm～10μm的金剛石核心和二氧化鈦殼層，該二氧化鈦殼層通過(guò)恒溫水解反應(yīng)制備且前驅(qū)體為硫酸氧鈦，同時(shí)該二氧化鈦殼層上共摻雜有Fe3+和N，N/Ti摩爾比為1％～13％。本發(fā)明的摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒可以廣泛應(yīng)用在固結(jié)、半固結(jié)及游離拋光工具的制備，利用該復(fù)合磨粒制備的半固結(jié)柔性拋光工具，不僅能夠明顯提高SiC晶圓的加工效率，而且還能獲得光滑無(wú)損的表面質(zhì)量。

　　主權(quán)利要求：1.一種摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒，其特征在于：包括粒徑50nm～10μm的金剛石核心和二氧化鈦殼層，該二氧化鈦殼層通過(guò)恒溫水解反應(yīng)制備且前驅(qū)體為硫酸氧鈦，同時(shí)該二氧化鈦殼層上共摻雜有Fe3+和N，N/Ti摩爾比為1％～13％。
　　2.如權(quán)利要求1所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒，其特征在于：所述N/Ti 摩爾比為1％～10％。
　　3.一種摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒的制備方法，其特征在于：包括如下步驟： (1)將金剛石磨粒添加到蒸餾水中進(jìn)行剪切和超聲分散，形成均勻穩(wěn)定的懸浮液， 該金剛石磨粒的粒徑為50nm～10μm； (2)將硫酸氧鈦加熱溶解于水中后與Fe3+溶液混合，再加入到已經(jīng)溶解的NH4Cl溶 液中，形成混合溶液，該混合溶液中Fe3+的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.1％～0.7％，N/Ti摩爾比為1％～13％； (3)將步驟(1)制備的懸浮液和步驟(2)制備的混合溶液混合均勻，邊攪拌邊進(jìn) 行恒溫水解反應(yīng)，反應(yīng)溫度為40～55℃，反應(yīng)時(shí)間為10～27小時(shí)，攪拌速度為50～75rmp； (4)將步驟(3)反應(yīng)后得到的物料進(jìn)行離心分離，并洗滌干燥，得到所述摻雜二氧 化鈦金剛石復(fù)合磨粒。
　　4.如權(quán)利要求3所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒的制備方法，其特征在于： 所述金剛石磨粒的粒徑為50nm、100nm、250nm、500nm、1μm、3μm、5μm和10μm中 的至少一種。
　　5.如權(quán)利要求3所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒的制備方法，其特征在于： 所述步驟(2)為：將硫酸氧鈦加熱溶解于水中后與Fe3+溶液混合，再加入到已經(jīng)溶解的 NH4Cl溶液中，形成混合溶液，該混合溶液中Fe3+的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.1％～0.5％，N/Ti摩爾比 為1％～10％。
　　6.如權(quán)利要求3所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒的制備方法，其特征在于： 所述步驟(3)為：將步驟(1)制備的懸浮液和步驟(2)制備的混合溶液混合均勻，邊 攪拌邊進(jìn)行恒溫水解反應(yīng)，反應(yīng)溫度為40～50℃，反應(yīng)時(shí)間為12～24小時(shí)，攪拌速度為 60rmp。
　　7.權(quán)利要求1或2所述的摻雜二氧化鈦金剛石復(fù)合磨粒在固結(jié)、半固結(jié)及游離拋光 工具加工SiC晶圓中的應(yīng)用。