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官方微信摘要 名稱晶硅硅片的切片制絨一體化方法及裝置申請(qǐng)?zhí)?01210062228申請(qǐng)日2012年3月9日公告號(hào)102544240A公
| 名稱 | 晶硅硅片的切片制絨一體化方法及裝置 | ||
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 201210062228 | 申請(qǐng)日 | 2012年3月9日 |
| 公告號(hào) | 102544240A | 公告日 | 2012年7月4日 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 濟(jì)南圣達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司( 37221 ) | 代理人 | 王立曉 |
| 申請(qǐng)人 | 潤(rùn)峰電力有限公司 | 地址 | 山東省濟(jì)寧市微山縣微山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)潤(rùn)峰工業(yè)園 |
| 發(fā)明人 | 楊雷 何晨旭 殷海亭 凌振江 王冬松 王步峰 | 主分類號(hào) | H01L 31/18 |
| 國(guó)家/省市 | 中國(guó)山東( 37 ) | 分類號(hào) | H01L 31/18 B28D 5/00 |
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種晶硅硅片的切片制絨一體化方法及裝置，裝置包括由一個(gè)出線輪、兩個(gè)張力輪、多個(gè)導(dǎo)輪、兩個(gè)輥輪、一個(gè)收線輪及纏繞在它們上面的金剛石切割線組成的切割線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，輥輪與電機(jī)相連帶動(dòng)金剛石切割線運(yùn)動(dòng)，張力輪控制金剛石切割線的張力，兩個(gè)輥輪之間對(duì)應(yīng)的金剛石切割線上方設(shè)有固定裝置，固定裝置上固定有硅塊，輥輪、導(dǎo)輪及纏繞在其上的金剛石切割線置于盛有制絨切削液的液槽內(nèi)。將制絨切削液注入到切片機(jī)的液槽內(nèi)，浸沒(méi)金剛石切割線和硅塊；轉(zhuǎn)動(dòng)輥輪，逐漸緩慢下壓硅塊接觸金剛石切割線進(jìn)行切片。本發(fā)明可以有效的解決切片過(guò)程中所產(chǎn)生的應(yīng)力問(wèn)題，使得切片和制絨能夠同時(shí)進(jìn)行，減少了化學(xué)品和工藝設(shè)備的使用，縮短了工藝流程。 | ||
| 獨(dú)立權(quán)利要求 | １．晶硅硅片的切片制絨一體化裝置，其特征是，包括由一個(gè)出線輪、兩個(gè)張力輪、多個(gè)導(dǎo)輪、兩個(gè)輥輪、一個(gè)收線輪及纏繞在它們上面的金剛石切割線組成的切割線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，輥輪與電機(jī)相連帶動(dòng)金剛石切割線運(yùn)動(dòng)，張力輪控制金剛石切割線的張力，兩個(gè)輥輪之間對(duì)應(yīng)的金剛石切割線上方設(shè)有固定裝置，固定裝置上固定有硅塊，輥輪、導(dǎo)輪及纏繞在其上的金剛石切割線置于盛有制絨切削液的液槽內(nèi)。 | ||
附件：視圖說(shuō)明
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