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官方微信摘要 名稱在金剛石對(duì)頂砧上集成金屬電極的方法公開(kāi)號(hào)1396801公開(kāi)日2003.02.12主分類號(hào)H05K3/06&nbs
| 名稱 | 在金剛石對(duì)頂砧上集成金屬電極的方法 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1396801 | 公開(kāi)日 | 2003.02.12 |
| 主分類號(hào) | H05K3/06 | 分類號(hào) | H05K3/06;C23C14/14;C23C14/34;G01N27/00 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 02132456.5 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 2002.06.16 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 吉林大學(xué) | 地址 | 130012吉林省長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)前衛(wèi)路10號(hào) |
| 發(fā)明人 | 韓永昊;高春曉;劉洪武;潘躍武 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)春吉大專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 王恩遠(yuǎn) |
| 摘要 | 本發(fā)明屬在高壓實(shí)驗(yàn)裝置——金剛石對(duì)頂砧上集成金屬電極的方法。經(jīng)清洗 (1)、濺射電極材料(2)、涂膠(3)、光刻(4)、腐蝕金屬(5)、去膠(6)以及引線工藝過(guò)程制得鎢或鉻或鈦的金屬電極。電極材料(2)厚度為1000～2500A，濺射電極材料過(guò)程中襯底溫度保持在240～400℃。光刻(4)過(guò)程是保留需要集成電極部位的光刻膠(9)，而其余的地方光刻膠(9)被去掉。腐蝕金屬(5)是指用光刻腐蝕劑去掉未被光刻膠(9)掩蓋的電極材料。本發(fā)明能保證電極在砧面上有足夠的附著力。電極厚度小，可消除由應(yīng)力產(chǎn)生的電極崩裂現(xiàn)象。可避免高溫對(duì)金剛石的損傷，延長(zhǎng)使用壽命 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)