近日，在寧波晶鉆科技股份有限公司的金剛石產業園內，一顆顆CVD大單晶金剛石如期上線。其中，一顆60 mm × 60 mm的單晶金剛石片映入眼簾。

       據了解，該金剛石片采用的是同質外延生長技術，這不是晶鉆科技的首次突破！

       作為根植于寧波的民營企業，晶鉆科技自2014年制備出第一顆CVD單晶金剛石以來，歷經10余次技術迭代，已量產2英寸CVD單晶金剛石。2023年底，成功制備出3英寸CVD單晶金剛石，目前也已穩定批量化生產。如今產品再次升級，尺寸突破3.35英寸，并正在向4英寸以上單晶金剛石制備發起沖刺。

       微波等離子體化學氣相沉積（MPCVD）作為行業公認的制備大尺寸、高品質單晶金剛石的最佳手段。目前主要有兩種技術路線：同質外延、異質外延。相比于異質外延生長，同質外延技術的優勢在于其晶體質量高，內應力和位錯密度低，同時能生長出較大的籽晶原料，從而提高面積增加效率，但技術也極具挑戰性。

       一直以來，晶鉆科技走的是同質外延生長路線。60 mm × 60 mm的尺寸，換算成半導體行業晶圓常用單位，大約3.35英寸。這也是晶鉆科技首次對外報道。

       “加快形成新質生產力，就是要加快實現‘0到1’的顛覆性創新及‘1到100’的穩定性提升”。張軍安董事長說道，“目前，我們的生產設備歷經多輪升級迭代已擴充到1500臺，這意味著，我們的大尺寸、高品質CVD單晶金剛石年產能已達200萬克拉，躍居世界前列。”

       目前晶鉆科技已經形成了完整的金剛石材料、相關裝備與應用等產業布局和標準化生產能力。其生產的CVD單晶金剛石的雜質含量< 10 ppb，表面粗糙度< 1 nm，能可控進行氮、硼元素摻雜，為金剛石材料的功能化應用夯實更加穩固基礎。

       從創新鏈的好技術到產業鏈的新應用，這是條漫長且艱難的道路。“長材料”僅僅是一個開始。

       晶鉆科技產能已具備，下一步就是加快與產業鏈上下游的創新聯動。

       張軍安董事長介紹，“晶鉆科技正加緊與相關企業和科研院所聯合攻關開發。”

       “晶鉆科技要做的就是在完成產品、生長設備、工藝裝備、加工裝備及檢驗檢測裝備的自主創新后，緊緊圍繞行業需求，持續創新與迭代，最終通過向下延伸、拓展應用，站在金剛石行業發展的最前沿。”

       目前，晶鉆科技高水平研發中心已從設計藍圖變為現實，其占地123畝，首期投資10億元、建筑面積超80000㎡的現代化金剛石產業園已投入使用，這為企業實現科技成果轉化增強了信心。

       “國內第一家專業從事CVD單晶金剛石工業化生產的企業”、“第一臺自主知識產權的MPCVD單晶金剛石生長設備”；“第一條自主知識產權的CVD大單晶金剛石工業化生產線”…… 這些已成為寧波晶鉆科技股份有限公司的第一印象標簽。未來，這條創新之路將會持續。