近日,坐落于四川省成都市雙流區空港一路的成都華宇微波技術有限公司傳來喜訊,該公司實現了高端裝備領域重大技術突破,其自主研發生產的微波等離子化學氣相沉積系統(MPCVD)3.0設備正式下線并投入使用,標志著,成都華宇微波終于趕在2023年末實現了國內MPCVD設備在這一領域的又一次突破。
成都華宇微波亮相第七屆國際碳材料大會暨產業展覽會。
“MPCVD微波等離子化學氣相沉積技術,是通過微波激發反應氣體成等離子體狀態,提高化學反應速率,從而確保單晶材料生長的持續性,為合成高質量的大尺寸單晶金剛石提供有力保證。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結晶形態好的高質量硬質薄膜和晶體。這種技術培育出來的鉆石凈度更高,可以作為光、電、聲等功能性材料,也可用于鉆石飾品的制作。”成都華宇微波負責人劉引表示。
20多年來,成都華宇微波始終專注于微波等離子體設備和相關材料沉積工藝的研發,其研發和制造的微波等離子體系統涵蓋了目前國內外已知的所有類型,并為國內眾多科研院所和企業用戶提供了微波等離子體專業化、定制化設備和產品工藝技術的綜合解決方案。
成都華宇微波展廳。
11月1日至3日,第七屆國際碳材料大會暨產業展覽會(Carbontech2023)在上海跨國采購會展中心舉辦。鉆石加工、鑒定研究及教學40多年的材料學專家苑執中,四川大學無機材料系和生物醫學工程系教授茍立、電子科技大學教授陳中柘等多位材料和機械領域的專家齊聚成都華宇微波展廳共話MPCVD未來。
“MPCVD技術在大尺寸、大克拉鉆石培育方面具有絕對優勢。”四川大學無機材料系和生物醫學工程系教授芶立表示,隨著大尺寸、大范圍、高靈活度的金剛石沉淀技術的逐步開發,大規模集成電路和高速集成電路也將進入一個新的時代。據了解,芶立是材料學方面的專家,四川省學術和技術帶頭人后備人選,在金剛石的制備和應用上有很深的研究造詣,曾參加“863”課題、“973”等國家重點項目。
“我對MPCVD技術的應用場景,非常看好。”據芶立介紹,金剛石上在力學、熱學、聲學、光學、電學方面都有優異的特性,所以在高功率的散熱、極端環境下的探測、污水廢水的處置等方面表現得很優秀,“金剛石還被譽為終極半導體材料,今后必將在芯片行業取得突破性的應用。”
“成都華宇微波起步早,是國內最早做微波等離子體化學氣相沉積的制造商之一。企業的技術團隊研發能力較強,技術在行業領先。現在很多高校和研發機構進行教學、研究,都需要用到這個設備。”芶立如是說。