摘要 在光電元件的散熱應用中,人造金剛石以優越的散熱性能打敗了銅和碳化硅等同類材料,使得半導體制造商得以生產出體積更小、散熱速率更快、功率更高的光電設備;如激光二極管在使用人造金剛石質材...
在光電元件的散熱應用中,人造金剛石以優越的散熱性能打敗了銅和碳化硅等同類材料,使得半導體制造商得以生產出體積更小、散熱速率更快、功率更高的光電設備;如激光二極管在使用人造金剛石質材后,器件壽命得以延長、工作穩定性得到提高。但是,金剛石在高科技領域的應用并非只作散熱之用。人造金剛石可控制的生長環境使得大功率光學視窗鏡片、多頻光學棱鏡的應用和希格斯玻色子探測等高端科技成為了現實。
作為全球人造金剛石研制的領軍代表,元素六公司采用其專利技術,利用化學氣相沉積法從烴氣體混合物中生長單晶金剛石和聚晶金剛石。元素六的光學元件業務經理Henk de Wit說:“為定制特殊需求的產品,我們將金剛石中的化學雜質進行最大化的剔除,并將各種應用屬性設計到金剛石中。利用微波CVD法,在高于2000℃的溫度下對氣體混合物進行加熱即可得到高質量的聚晶金剛石和單晶金剛石”。
早在今年2月份,元素六就擴大其硅谷設備,提高了人造金剛石光學視窗晶片的批量生產能力;光學視窗鏡片是激光等離子體極紫外光刻系統中一個重要的元件設備,該鏡片占整個光刻系統50%的組件構成。擴大生產能力后的工藝使得高質量金剛石晶片達到了直徑135微米的尺寸水準(見下圖)。

較高的導熱系數使人造金剛石成為了光學視窗鏡片的最佳質材,它可以用于6千瓦以上的大功率二氧化碳激光;事實上,人造金剛石也是唯一能夠承受8千瓦以上功率(最高可達35千瓦)的質材。微乎其微的波前畸變使金剛石鏡片能夠出色地應用在極紫外光刻系統中。相比于硒化鋅這類導熱系數低的質材,通過光吸收而產生的熱量會通過高導熱系數的金剛石傳導至外部環境,從而防止熱焦點的形成,保護了其他器件,同時也省去了熱透鏡效應的補償。
光譜棱鏡
在傅里葉變換紅外光譜儀的構件中,試樣架就是由人造金剛石制作而成。裝式CVD單晶金剛石衰減全反射( ATR )棱鏡具有最廣泛的透射光譜,從220納米到50微米的范圍,從而極大地提高了棱鏡的測量靈敏度、分析范圍和精確度。摻入金剛石技術的多頻投射光譜使得光譜儀制造商能夠生產出內部光學系統相對簡單的小型化設備。同時,人造金剛石耐刮和生化惰性的特點可以使CVD金剛石光譜儀在環境惡劣的條件下使用,其耐用性要比傳統的光譜棱鏡優越許多。
粒子檢測
元素六制造出的高純度CVD人造金剛石還是歐洲核子研究組織(CERN)大型強子對撞機CMS實驗和ATLAS監測系統的重要組成器件,用于檢測科學家們最近剛發現的一種新的粒子,這種粒子跟希格斯玻色子很類似。人造金剛石在該設備中充當安全檢測的傳感器作用,可承受惡劣、高輻射的環境;同時還能即刻發生反應從而保護先進昂貴的測量系統。
負責CMS實驗的CERN科學家Anna Dabrowski說:“我們的CMS實驗主要依靠人造金剛石的穩定性對大型強子對撞機光束和對撞過程中產生的粒子進行監測。這種基于金剛石技術的系統,其穩定性對于保護66,000,000通道像素跟蹤的敏感元件有著重要作用”。(編譯自“NOVEL MATERIALS: Synthetic diamond offers much more than heat sinking”)