人造金剛石為二氧化碳激光器光學元件提供無與倫比的性能。它可承受高能量激光，能夠實現頗具成本效益和高通量的極紫外光刻加工。
　　2013年2月4日，元素六公司在美國西部光電展（SPIE Photonics West 2013，元素六展位號4203）宣布其美國硅谷工廠已擴大了CVD金剛石光學窗口的規模化生產能力，該窗口產品被用作激光等離子體極端遠紫外（EUV）光刻系統的核心組件。元素六美國工廠實現總產能增長50%，在CVD金剛石生產和加工方面取得新突破，這將進一步擴大公司的全球業務，以滿足大尺寸光學窗口日益增長的市場需求。
　　“極紫外光刻技術代表了新一代半導體制造的重大技術進步，可實現22納米以下（1x納米，即十納米級）的邏輯器件和存儲器”，元素六technologies事業部經理Adrian Wilson介紹說，“我們相信元素六公司的人造金剛石光學窗口是傳統光學材料的一種便捷替代品，也是唯一可實現商業化激光等離子體極紫外光刻的產品——它可以減少停機時間，提高晶圓加工能力”
　　為滿足系統設計師最具挑戰的應用需求，元素六針對高功率（20千瓦以上）二氧化碳激光器提供大尺寸（直徑達71-80毫米）CVD金剛石窗口，并可根據需求提供更大尺寸窗口產品。基于其獨特性質，人造金剛石是能夠承受高通量極紫外光刻的唯一材料，可提高產能和成本效益。此外，元素六開發出業內最平坦的窗口材料（在633納米波長情況下，表面平整度PV值小于波長的二十分之一），以實現更低波前畸變和更高系統效率。
　　為了確保系統的性能，元素六公司高質量人造金剛石窗口在缺陷控制上同樣達到了極高的水準。總體來說，其專利CVD金剛石產品具有最寬的透光波段、目前已知的最高的熱導率和抗熱沖擊能力——這些是實現極端紫外光刻等高端應用需求的核心指標。
　　隨著全球制造商極紫外光刻能力的不斷提升，元素六位于美國硅谷、英國阿斯科特以及荷蘭克伊克的大規模生產工廠將確保公司可滿足客戶的各類需求。元素六擁有超過50年的技術積累和批量生產經驗，向全球3,000多家客戶提供極端性能的解決方案，在多個領域實現更高生產率、更低能耗以及前所未見的技術飛躍。