產(chǎn)品簡介

RENA旗下RS 690-DW產(chǎn)品是為使金剛石線鋸以最低的制備成本(CoO)獲得最高的硅片質(zhì)量而研發(fā)的。根據(jù)工藝參數(shù)的計算，該產(chǎn)品據(jù)稱可將設(shè)備的產(chǎn)出量提高15 MW/a。同時，該產(chǎn)品還具有優(yōu)化線鋸軸間距、較高的線鋸運轉(zhuǎn)速度、較短的切割時間等優(yōu)點，以為改善硅片質(zhì)量和設(shè)備產(chǎn)出量提供支持。

針對問題

降低硅片成本始終是行業(yè)較為關(guān)注的一個重點，其中包括對于可減少切口損失并具有潛力實現(xiàn)較薄硅片的金剛石線鋸的使用。然而，為實現(xiàn)包括硅片的質(zhì)量和產(chǎn)量在內(nèi)的產(chǎn)能最大化，需要專注于對總體工藝流程進行控制。在購置成本計算過程中，最為主要的一點是冷卻液的成本，而冷卻液的成本可通過在金剛石線鋸工藝中使用合適的冷卻液循環(huán)解決方案來解決。

解決方案

基于RS 690-2線鋸系統(tǒng)的經(jīng)驗，RENA為金剛石線鋸設(shè)備專門調(diào)試出新式RS 690-DW產(chǎn)品。該產(chǎn)品的機械組成包括：具有經(jīng)優(yōu)化的線鋸軸間距的固定線鋸、一套新式線鋸管理系統(tǒng)和一套占地小的特制冷凝液分配循環(huán)系統(tǒng)。該產(chǎn)品在工藝上的特征據(jù)稱可實現(xiàn)較高的硅片質(zhì)量、改善TTV(總厚度偏差)值、少于1米的單位線鋸消耗量和高于15 MW/a的總產(chǎn)出量。該設(shè)備在對156mm x 156mm的硅片進行切割時，所使用的線鋸直徑最小可達100 µm。憑借與SH+E集團的合作，RENA開發(fā)出了一套可增加冷卻液使用壽命并降低工藝成本的冷卻液循環(huán)系統(tǒng)。

產(chǎn)品應(yīng)用

本品可應(yīng)用于多晶/單晶硅錠的切割過程中。

相關(guān)信息

據(jù)公司稱，包括電氣柜在內(nèi)的整套現(xiàn)居系統(tǒng)所占面積僅為3,701mm x 2,000mm，從而實現(xiàn)了680mm切割位上的線鋸平臺。據(jù)稱，該系統(tǒng)極為便捷的操作界面(直觀的人機互動界面)和維護需求可減少設(shè)備的停機時間。

上市時間

2012年9月