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一種高速氣相生長金剛石的方法

關鍵詞高速氣相生長 , 金剛石|2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱一種高速氣相生長金剛石的方法公開號1159491公開日1997.09.17主分類號C30B25/00

名稱	一種高速氣相生長金剛石的方法
公開號	1159491	公開日	1997.09.17
主分類號	C30B25/00	分類號	C30B25/00;C30B29/04
申請號	96115136.6
分案原申請號		申請日	1996.03.07
頒證日		優先權
申請人	中國科學院金屬研究所	地址	110015遼寧省沈陽市沈河區文化路72號
發明人	聞立時; 黃榮芳; 于杰; 陳廣超	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	中國科學院沈陽專利事務所	代理人	張晨
摘要	一種高速氣相生長金剛石的方法，采用熱絲化學氣相沉積技術，其特征在于：反應全流程在封閉空間內進行，反應氣均勻地通過反應區，氣體質量流量通量為１００—２００SCCM/cm#+[2]，反應區溫度保持在２０００—２６００℃，反應后氣體及時排出。本發明可以在較大面積上，高速生長高質量金剛石。

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