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官方微信摘要 名稱制備類金剛石復(fù)合振膜的方法公開號(hào)1093213公開日1994.10.05主分類號(hào)H04R31/00
| 名稱 | 制備類金剛石復(fù)合振膜的方法 | ||
| 公開號(hào) | 1093213 | 公開日 | 1994.10.05 |
| 主分類號(hào) | H04R31/00 | 分類號(hào) | H04R31/00;C23C14/22 |
| 申請?zhí)?/strong> | 93103925.8 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1993.04.01 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 中國建筑材料科學(xué)研究院 | 地址 | 100024北京市朝陽區(qū)管莊 |
| 發(fā)明人 | 張保軍; 孫濱如 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 中國科學(xué)院專利事務(wù)所 | 代理人 | 劉文意 |
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種制備沉積有類金剛石膜層的復(fù)合聲學(xué)振膜的方法。其特征在于將被沉積金屬基體置于環(huán)形夾具中，并在真空室中作為負(fù)放電電極。運(yùn)用含碳?xì)怏w的直流輝光放電法進(jìn)行類金剛石膜的沉積，它可在平板形，球冠形或其它復(fù)雜形狀的多種基體材料表面進(jìn)行單面或兩面同時(shí)沉積出類金剛石膜形成復(fù)合振膜。因此，它可以平衡應(yīng)力，提高復(fù)合膜的整體剛性，消除應(yīng)力變形，提高沉積效率，改善了聲器件的頻響曲線。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)