申請號：201611242132.0
　　申請人：廈門佳品金剛石工業有限公司
　　發明人：陳銓祥

　　摘要： 本發明公開本發明涉及一種拋光墊修整器的制造方法和制造設備，該制造方法包括以下步驟：(1)將陶瓷粉等靜壓燒結制成組織均勻致密的陶瓷錠；(2)將陶瓷錠頂部研磨形成具有等高尖角的正四棱錐陣列；(3)將磨好的陶瓷錠尖端表面涂覆金剛石膜，即得到拋光墊修整器。該制造設備包括等靜壓燒結裝置、數控平面磨床和涂膜裝置，所述數控平面磨床采用V型砂輪，所述數控平面磨床設置有用于修整V型砂輪的在線自動修整機構。本發明通過研磨組織均勻致密的陶瓷錠，形成穩定的具有等高尖角的三維結構化表面，可有效解決因模具直接壓制的三維結構化表面尖部組織松散的問題，避免在使用中導致尖部容易破裂而使晶圓刮傷。 　　主權利要求：1.一種拋光墊修整器的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：(1)將陶瓷粉等靜壓燒結制成組織均勻致密的陶瓷錠；(2)將陶瓷錠頂部研磨形成具有等高尖角的正四棱錐陣列；(3)將磨好的陶瓷錠尖端表面涂覆金剛石膜，即得到拋光墊修整器。
　　2.根據權利要求1所述的拋光墊修整器的制造方法，其特征在于：步驟(2)中的研磨的方法包括以下步驟：(2.1)使用V型砂輪對陶瓷錠頂部的表面進行第一方向研磨，形成多條第一方向V型溝槽；其中，任意相鄰的兩條第一方向V型溝槽的相鄰斜面相交于陶瓷錠頂部的表面之下，形成等高的尖頂；(2.2)使用V型砂輪對陶瓷錠頂部的表面進行垂直于第一方向的第二方向研磨，形成多條第二方向V型溝槽；其中，任意相鄰的兩條第二方向V型溝槽的相鄰斜面相交于尖頂，形成等高的尖角；垂直交錯的第一方向V型溝槽和第二方向V型溝槽將陶瓷錠頂部分隔形成具有等高尖角的正四棱錐陣列。
　　3.根據權利要求2所述的拋光墊修整器的制造方法，其特征在于：步驟(2.1)和步驟(2.2)中的V型砂輪研磨時的槽寬大于槽距，設槽寬為W、研磨深度為D、槽距為P、砂輪夾角為θ，因且W＞P，則
　　4.根據權利要求2所述的拋光墊修整器的制造方法，其特征在于：步驟(2.1)和步驟(2.2)中的V型砂輪在研磨時自動加深加工量，以補償V型砂輪在研磨中磨損導致的尺寸變化，保證尖角等高。
　　5.根據權利要求1所述的拋光墊修整器的制造方法，其特征在于：步驟(1)中的陶瓷粉為氮化硅粉、碳化硅粉或碳化鎢粉。
　　6.根據權利要求1所述的拋光墊修整器的制造方法，其特征在于：步驟(3)中的金剛石膜的厚度為3-20微米。
　　7.根據權利要求1所述的拋光墊修整器的制造方法，其特征在于：步驟(3)用化學氣相沉積法涂覆金剛石膜。
　　8.一種拋光墊修整器的制造設備，其特征在于，包括：一等靜壓燒結裝置，用于將陶瓷粉等靜壓燒結制成組織均勻致密的陶瓷錠；一數控平面磨床，用于將陶瓷錠頂部研磨形成具有等高尖角的正四棱錐陣列；以及一涂膜裝置，用于將磨好的陶瓷錠尖端表面涂覆金剛石膜；其中，所述數控平面磨床采用V型砂輪對陶瓷錠進行研磨，所述數控平面磨床設置有用于修整V型砂輪的在線自動修整機構。
　　9.根據權利要求8所述的拋光墊修整器的制造設備，其特征在于：所述在線自動修整機構包括一修整座和兩個金剛石磨塊，兩個金剛石磨塊對稱固定在修整座的上部，兩個金剛石磨塊的工作面分別設置有一金剛石磨料層，兩個金剛石磨料層之間形成V型夾角。
　　10.根據權利要求9所述的拋光墊修整器的制造設備，其特征在于：所述數控平面磨床的工作臺上設置有電磁吸盤，所述修整座安裝在電磁吸盤的后部，所述電磁吸盤的上方吸附有用于固定放置陶瓷錠的磁性平板。