申請(qǐng)人:江蘇吉星新材料有限公司
發(fā)明人:胡孔林 王晨宇
摘要: 本發(fā)明提供的一種雙面研磨墊藍(lán)寶石窗口片減薄加工方法,包括了制片、安裝擺放墊與打孔、配制金剛石研磨液、加入金剛石研磨液、研磨與回收研磨液等步驟,步驟簡(jiǎn)單,制備方便,采用聚氨酯墊配合金剛石研磨液的加工方法,利用聚氨酯研磨墊硬度較低,表面有許多小孔,在研磨的過程中金剛石顆粒可以鑲嵌在表面,有效的減少金剛石顆粒對(duì)晶片表面的磨損,有效的提高加工效率,提升晶片外觀質(zhì)量,大大降低了成本并且可回收利用。
主權(quán)利要求:1.一種雙面研磨墊藍(lán)寶石窗口片減薄加工方法,其特征為,加工工藝如下:(1)制片:先通過切割將藍(lán)寶石工件制成藍(lán)寶石薄片,其中藍(lán)寶石薄片的厚度為400-500微米;(2)安裝擺放墊與打孔:將聚氨酯墊分別粘貼在上盤面與下盤面上,同時(shí)利用美工刀片對(duì)盤面上的流砂進(jìn)行開孔;(3)配制金剛石研磨液:將5%的金剛石研磨液與95%自制懸浮液混合進(jìn)行反應(yīng),在20℃-30℃下勻速攪拌15-45min,制備成金剛石研磨液;(4)加入金剛石研磨液:加入金剛石研磨液,金剛石研磨液的流量保持在10-20mL/min,使金剛石研磨液有效的分部在盤面的表面上;(5)研磨:打開研磨機(jī)進(jìn)行研磨,研磨的時(shí)間為25-35min,研磨機(jī)的壓力為450-550kg,研磨機(jī)的轉(zhuǎn)速為25-35轉(zhuǎn)/min;(6)回收金剛石研磨液:研磨完成后對(duì)研磨機(jī)上的金剛石研磨液進(jìn)行回收再利用。
2.如權(quán)利要求1所述一種雙面研磨墊藍(lán)寶石窗口片減薄加工方法,其特征為,所述的金剛石研磨液為河南聯(lián)合牌水性液,超純水為實(shí)驗(yàn)室純水機(jī)自制超純水。