摘要 申請號:201620783945.X申請人:洛陽奧爾材料科技有限公司發明人:鄒楊孫蕾楊宜珍鄒松東孫凌摘要:一種金剛石涂層刀具生長裝置,涉及一種刀具生長裝置,包括真空室(8)、升降基...
申請號:201620783945.X
申請人:洛陽奧爾材料科技有限公司
發明人:鄒楊 孫蕾 楊宜珍 鄒松東 孫凌
摘要:一種
金剛石涂層
刀具生長裝置,涉及一種刀具生長裝置,包括真空室(8)、升降基片臺(2)和熱絲裝置(6),在真空室(8)內設有立式放置的升降基片臺(2),在升降基片臺(2)的一側設有與升降基片臺(2)并排設置的熱絲裝置(6),在熱絲裝置(6)的兩端分別設有水冷電極(3),在升降基片臺(2)的另一側中部設有磁流體(7),在真空室(8)內分別設有進氣系統(4)和抽氣系統(5);本實用新型通過設置立式放置的升降基片臺與熱絲裝置,并通過升降基片臺安裝基片及調節基片與熱絲裝置之間的距離,達到了鉭絲不下垂、沉積面積大、長時間均勻沉積的目的。
主權利要求:1.一種金剛石
涂層刀具生長裝置,包括真空室(8)、升降基片臺(2)和熱絲裝置(6),其特征是:在真空室(8)內設有立式放置的升降基片臺(2),在升降基片臺(2)的一側設有與升降基片臺(2)并排設置的熱絲裝置(6),在熱絲裝置(6)的兩端分別設有水冷電極(3),在升降基片臺(2)的另一側中部設有磁流體(7),在真空室(8)內分別設有進氣系統(4)和抽氣系統(5)。
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