申請?zhí)枺?01510132723.1
　　申請人：河南黃河旋風(fēng)股份有限公司
　　發(fā)明人：劉建設(shè) 郭松 孟為民 曹河周 劉拾霞 劉超超 王飛山

　　摘要：本發(fā)明涉及金剛石表面處理技術(shù)領(lǐng)域，是一種金剛石表面鍍碳化鈦的制作方法，它包括以下步驟：a、抽真空，首先將金剛石置于真空離子鍍膜機(jī)的鍍膜室中，將鍍膜室抽真空至3×10-3Pa以下；b、金剛石表面清潔，要求電壓：390-410V、直流電流：1.2-1.4A、真空度：3*10-2Pa、離子源：4.8-5.2KV離子源、偏轉(zhuǎn)電壓：90-110V、時(shí)間：5-10分鐘；c、金剛石表面鍍膜，陰極：鈦金屬材料（純度為99.99%）等，這樣的方法具有金剛石碳化鈦鍍膜容易實(shí)現(xiàn)、鍍膜穩(wěn)定、鍍膜堅(jiān)實(shí)的優(yōu)點(diǎn)。

　　主權(quán)利要求：1.一種金剛石表面鍍碳化鈦膜的制作方法，它在金剛石真空鍍膜機(jī)中進(jìn)行，它包括以下步驟：a、抽真空首先將金剛石置于真空離子鍍膜機(jī)的鍍膜室中，將鍍膜室抽真空至3×10-3Pa以下；b、金剛石表面清潔電壓：390—410V直流電流：1.2-1.4A真空度：3*10-2Pa離子源：4.8—5.2KV離子源偏轉(zhuǎn)電壓：90—110V時(shí)間：5-10分鐘c、金剛石表面鍍膜陰極：鈦金屬材料（純度為99.99%）陽極極：金剛石粉體電壓：440—460V脈沖電流：0.8A-1.0A乙炔流量：5-6sccm偏轉(zhuǎn)電壓：180-220V高純氬氣流量：15sccm工作時(shí)間：180分鐘—200分鐘溫度：溫度280——320℃移動(dòng)方式：金剛石粉移動(dòng)經(jīng)過上述步驟處理后可以得到表面具有樹脂膜結(jié)構(gòu)金剛石。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石表面鍍碳化鈦膜的制作方法，其特征是：步驟b中的電壓是400V，直流電流是1.3A，離子源是 5. KV離子源，偏轉(zhuǎn)電壓：100V。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的金剛石表面鍍碳化鈦膜的制作方法，其特征是：步驟c中電壓是450V，脈沖電是0.9A，偏轉(zhuǎn)電壓是200V，溫度是300℃。