| 名稱 | 多工位氣相合成金剛石膜裝置 | ||
| 公開號 | 2264191 | 公開日 | 1997.10.08 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26;C30B25/00 |
| 申請號 | 96227452.6 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 1996.03.22 | |
| 頒證日 | 1997.09.13 | 優先權 | |
| 申請人 | 曲承林 | 地址 | 266045山東省青島市商丘路2號5戶 |
| 發明人 | 曲承林 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 青島化工學院專利事務所 | 代理人 | 于正河; 吳澄 |
| 摘要 | 本實用新型屬于化學氣相沉積技術，涉及一種由六套單元系統構成的多工位氣相合成金剛石膜裝置，各單元系統分別由充氣系統、排氣系統和反應室等連接構成，六單元系統并聯成結構相同、工作相對獨立且便于控制的六工位整機裝置，氫氣和甲烷充氣系統并聯后接入反應室，反應室內的燈絲安裝和更換采用專用工裝設備，制有輔助排氣管路便于故障檢修，具有結構新穎，性能可靠，產量高，質量好，便于維修等優點，可用于厚金剛石膜置備。 | ||
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3月24日消息，國家知識產權局信息顯示，深圳優普萊等離子體技術有限公司申請一項名為“一種平整多晶金剛石膜的制備方法、系統及終端”的專利，公開號CN119663439A，申請日期為2...
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