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利用氫等離子體多次刻蝕/退火循環工藝提高金剛石籽晶質量的方法

申請號:201510304702.3申請人:哈爾濱工業大學發明人:朱嘉琦陳亞男代兵舒國陽王強趙繼文劉康摘要:利用氫等離子體多次刻蝕/退火循環工藝提高金剛石籽晶質量的方法...

日期 2015-10-16   
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