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黃河旋風申請降低CVD單晶金剛石生長過程中應力的方法專利,穩定單晶金剛石籽晶與樣品生長臺之間的傳熱

關鍵詞 黃河旋風|2024-03-04 09:10:56|來源 金融界
摘要 金融界2024年3月4日消息,據國家知識產權局公告,河南黃河旋風股份有限公司申請一項名為“降低CVD單晶金剛石生長過程中應力的方法“,公開號CN117626421A,申請日期為20...

       金融界2024年3月4日消息,據國家知識產權局公告,河南黃河旋風股份有限公司申請一項名為“降低CVD單晶金剛石生長過程中應力的方法“,公開號CN117626421A,申請日期為2023年12月。

       專利摘要顯示,本發明公開了一種降低CVD單晶金剛石生長過程中應力的方法,包括以下步驟:(1)清洗單晶金剛石籽晶及銅箔組件;(2)將單晶金剛石籽晶非生長面進行刻蝕處理;(3)在單晶金剛石籽晶刻蝕面表面鍍覆金屬Mo層;(4)等離子表面碳化處理生成金屬碳化物層;(5)將處理后的單晶金剛石籽晶與金屬銅箔對齊高溫固化,利用化學氣相沉積爐進行焊接并完成鍵合;(6)通過生長獲得低應力單晶金剛石。本發明旨在穩定單晶金剛石籽晶與樣品生長臺之間的傳熱,減少單晶金剛石表面生長溫度梯度,降低CVD單晶金剛石生長過程中的應力累積。

 

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